판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9300196

LAM RESEARCH Autoetch 590은 반도체 제조에 사용되는 고급 플라즈마 에처 및 애셔입니다. 동시 균일성 및 플라즈마 밀도로 작고 큰 부품을 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 할 수있는 다단 애셔 에치 장비입니다. Autoetch 590 은 시간과 비용 효율성 모두에서 최고 품질의 최종 제품을 만들 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Autoetch 590 (LAM RESEARCH Autoetch 590) 은 시스템 액세스를 극대화하는 완전 자동화된 오픈 프레임 설계를 갖추고 있으며 파트를 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 하는 데 2 단계 작동을 사용합니다. 제 1 단계는 빠르고 정확한 에치 타임을 제공하는 반면, 제 2 단계는 더 균일 한 플라즈마 밀도를 위해 자유 라디칼 (free radicals) 의 지속적인 방출을 생성하는 수정 된 애싱 (ashing) 기술을 사용합니다. 이 프로세스는 부품의 손상 또는 침식 위험없이 우수한 에치 (etch) 결과를 제공합니다. 또한 Autoetch 590은 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 고급 제어를 제공하여 RF 전원 및 에칭 주기 시간을 정확하게 제어합니다. 자동 자체 튜닝 기능은 일련의 테스트를 결합하여 최적의 에칭 성능을 위해 플라즈마 (plasma) 생성을 조정하여 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 결과를 최적화합니다. 고급 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에 대한 특정 요구 사항에 맞게 수정할 수도 있습니다. 또한 여러 DC 전원 공급 장치를 수용하여 여러 부품을 동시에 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 590은 모든 종류의 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대해 안정적이고, 반복 가능하며, 오래 지속되는 성능을 제공합니다. 또한 '고급 프로세스 모니터링 (advanced process monitoring)' 기능 (옵션) 을 통해 사용자는 툴의 성능을 추적할 수 있고, 안전성을 강화하기 위한 긴급 종료 (emergency shown) 기능을 제공할 수도 있습니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 Autoetch 590 (Autoetch 590) 은 다양한 구성 요소를 에칭 및 재시작하는 데 적합한 도구입니다.