판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293811811

LAM RESEARCH Autoetch 590은 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 에처 및 애셔입니다. 금속에서 세라믹 및 폴리머에 이르는 물질을 처리 할 수 있습니다. Autoetch 590에는 최대 7.5 "x 7.5" (190 x 190 mm) 크기의 기판을 취급하는 데 적합한 공정 챔버가 있으며 최대 175mm의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장비는 프로세스 다양성을 제공하면서 매우 정밀하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 590은 Dry etch, Wet etch, Plasma etch, Ash 및 Dip etch를 포함한 다양한 에칭 프로세스를 사용합니다. etch 시간과 전원 매개변수는 Autoetch 590으로 미세하게 제어할 수 있으므로 프로세스 제어가 균일합니다. LAM RESEARCH Autoetch 590은 완전히 통합 된 자동 로드 시스템으로, 반복 가능한 프로세스 정렬 및 프로세스 결과를 제공합니다. 자동 설정 (Autoetch) 590 운영 매개변수, 공차 및 레시피는 설치 및 프로그램이 용이하여 최적의 단위 성능을 보장합니다. LAM RESEARCH Autoetch 590 (LAM RESEARCH Autoetch 590) 에는 실시간 상태 표시가 포함되어 있어 프로세스를 중단하지 않고도 프로세스를 문제 해결하거나 최적화할 수 있습니다. 또한 Autoetch 590 에는 다양한 기판에 설정할 수있는 RF 발전기 및 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다. RF 기능을 사용하면 에칭 중에 프로세스 영역의 오염을 최소화할 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 590 (LAM RESEARCH Autoetch 590) 에는 에칭 프로세스 결과를 추적하고 원하는 매개변수가 충족되었는지 확인할 수 있는 고급 프로세스 모니터가 포함되어 있습니다. 또한 Autoetch 590 은 원격 제어 기능을 제공하여 원격 위치에서 시스템을 작동시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 590은 Windows, Mac 및 Linux를 포함한 다양한 운영 체제와 호환됩니다. 이 도구는 SEMI E34, IEC 60601-1-1 및 UL 698A를 포함한 다양한 안전 및 환경 요구 사항을 충족하도록 인증되었습니다. 전반적으로 Autoetch 590 (Autoetch 590) 은 업계 최고의 에처이며, 프로세스 다양성을 제공하면서 높은 정밀 에칭 결과를 제공 할 수 있습니다. 첨단 운영 자산 (Operating Asset) 과 통합형 자동 로드 (Auto-loading) 모델을 통해 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.