판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293761050

LAM Autoetch 590 etcher/asher는 마이크로 전자 및 기타 관련 기판에 적합한 고급, 고성능 에칭 및 증기 증착 시스템입니다. 금속, 중합체, 산화물 및 기타 물질을 다양한 기판에 빠르고, 고속 증착하기위한 정확하고 제어 가능한 프로세스를 제공합니다. Autoetch 590은 다양한 SF6 및 O2 기반 플라즈마 에칭 프로세스 (프로세스 성능을 최적화하기 위한 조합 조건) 를 포함하여 광범위한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한 GaAs, Silicon, Gold, Silver 등과 같은 여러 가지 고급 온도 조절 증발제를 제공합니다. 이 두 도구의 조합은 정밀한 재료 증착 및 에칭 (etching) 을 달성하는 데 이상적인 솔루션을 제공하며, 기판 처리의 가장 어려운 기능을 관리합니다. LAM Autoetch 590은 내구성을 극대화하기 위해 견고한 재료를 사용하여 제작되었습니다. 공정 챔버는 304 개의 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 처리 중 일관된 온도 및 압력 안정성을 위해 설계되었습니다. 분말 코팅 된 강철 외관은 외부 요소로부터 최대의 보호 기능을 제공합니다. Autoetch 590에는 자동 기판 로딩, 독립 공기 흐름 제어, 비 접촉 상태 감지, RF 생성 플라즈마 소스 및 각 원자로에 대한 여러 시간 및 온도 레시피가 장착되어 있습니다. 따라서 운영자는 최소한의 번거로움으로 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 쉽게 관리할 수 있습니다. LAM Autoetch 590 (LAM Autoetch 590) 은 고급 어댑터 시스템을 활용하여 마이크로 전자 및 기타 관련 응용 프로그램을위한 특정 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 다양한 기판 재료, 모양, 기능에 대한 특수 솔루션을 만들 수 있는 유연성이 향상됩니다. 마지막으로, Autoetch 590 은 매우 민감한 진단 패키지를 사용하여 etch 및 deposition 프로세스의 모든 측면을 모니터링합니다. 이는 최고 품질의 결과를 보장하는 한편, 섬세한 기판에 대한 우발적 손상을 방지합니다. LAM Autoetch 590 (LAM Autoetch 590) 은 마이크로 전자 및 기타 관련 기판에서 고성능 예금 및 에칭 프로세스를 달성하는 데 이상적입니다. 고급 (Advanced) 기능은 다양한 애플리케이션에 적합한 자산으로, 신뢰할 수 있는 결과를 달성하고 프로세스 다운타임을 줄일 수 있게 해 줍니다.