판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142

LAM 590은 LAM Research Corporation이 개발 한 최첨단 고성능 에처/애셔입니다. RIE (Reactive Ion Etching) 및 PA (Plasma Ashing) 기술을 기반으로 완전히 자동화 된 프로그래밍 가능한 배치 에칭 장비입니다. 다양한 에칭 프로세스가 가능하며, 탁월한 성능, 정확성, 생산성을 제공합니다. 590은 거의 모든 에치 또는 애쉬 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 압력, RF 전력, 유속, 침수 등의 에칭 또는 재 매개변수에 대한 정확한 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템은 최대 40 인치 (직경) 의 대형 공정 챔버를 지원하여 다양한 웨이퍼 크기를 수용합니다. 카세트 대 카세트 (Cassette-to-Cassette) 처리 기능을 통해 배치 (Batch) 방식으로 작동하여 전반적인 처리 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 정밀한 프로세스 제어 및 정확성을 보장하기 위해 다양한 옵션을 갖추고 있습니다. 여기에는 수동 로드 잠금 및 언로드 스테이션, 자동 높이 감지 시스템, 디지털 온도 제어 시스템, RF 생성기 제어 모듈 등이 포함됩니다. 이 기능을 사용하면 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정을 정확하게 제어할 수 있으므로 웨이퍼가 매번 안정적이고 정확하게 처리됩니다. 이 도구의 강력한 전기 및 기계 부품 (electrical and mechanical components) 은 고전압 및 공격적인 화학 물질을 견딜 수 있으며, 까다로운 응용에서도 긴 서비스 수명을 보장합니다. 정밀한 가스 제어를 위한 고해상도 가스 패널 (gas panel) 과 자동 온도 모니터링을위한 광학 피로미터 (pyrometer) 가 제공됩니다. 자산의 자동 기계적 처리는 효율적인 로드/언로드 프로세스를 보장합니다. LAM 590은 UL-, CSA- 및 CE 인증을 받았으므로 대부분의 위험 위치에서 사용할 수 있습니다. 공정 제어 (process control) 와 정밀도 (precision) 가 우수하므로 어플리케이션을 에칭하고 애시하는 데 이상적입니다. 이 모델은 사용하기 쉽고 비용 효과적입니다. 뛰어난 성능과 정확도로, 그것은 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정에 완벽한 선택입니다.