판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490B #9245067

LAM RESEARCH Autoetch 490B는 광범위한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 즉, 고유한 기능들을 갖추고 있어, 매번 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 메인프레임, 통합 버퍼 가스 장치, APC (Advanced Process Control) 장치, 고해상도 광 기계 및 수직 챔버로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 최적의 조건을 제공하는 다양한 가스 시스템을 통해 효율적인 운영을 위해 설계되었습니다. 정밀한 열 제어를위한 고급 온도 컨디셔너 (Advanced Temperature Conditioner) 와 고성능 작동을위한 고압 펌프 (High-Pressure Pump) 가 장착되어 있습니다. 통합 완충 가스 장치 (integrated buffer gas unit) 는 에칭 및 애싱 가스의 정확한 혼합을 보장하여 균일 한 에칭 및 애싱을 초래한다. APC (Advanced Process Control) 도구는 다양한 기능을 제공하여 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 여기에는 종점 감지, 자동 기판 프레젠테이션, 조정 가능한 레시피 매개변수 및 자동 기판 로드가 포함됩니다. 또한, APC는 데이터 로깅을 통해 프로세스 조건과 자동 조정을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. Autoetch 490B 에셋은 정확한 패턴화를 위해 고해상도 광학 모델을 제공합니다. 이 장비에는 최첨단 조명 소스 (top-of-the-line illumination source) 가 장착되어 있어 선명한 이미징을 위한 고해상도 광학이 적용된 밝은 광원이 있습니다. 또한 확장 된 패턴 기능 용 넓은 시야가 내장되어 있습니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Autoetch 490B는 안정적인 작동을 위해 수직 챔버로 설계되었습니다. 이 챔버 (chamber) 는 최고의 효율성을 위해 설계되었으며, 균일 한 난방 및 냉각을 보장하기 위해 균일 한 분배 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 챔버에는 조정 가능한 온도 제어 장치 (Temperature Control Unit) 가 있어 프로세스 조건을 타이트한 매개변수 내로 유지합니다. 전반적으로 Autoetch 490B (Autoetch 490B) 는 고유한 기능을 갖춘 고급 에칭 및 애싱 머신으로, 매번 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 490B는 고해상도 옵틱, 통합 버퍼 가스 유닛, 조정 가능한 레시피 매개변수, 자동 기판 로딩 및 엔드 포인트 탐지를 통해 고성능 에칭 및 애싱 프로세스를 위한 신뢰할 수있는 도구입니다.