판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293821360

LAM RESEARCH Autoetch 490은 완전 자동화 된 가스 에찬트 및 애셔입니다. 반도체 제조 공정을 위해 설계되었으며 금속, 규소, 산화물, 질화물 등 다양한 물질을 화학적으로 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. 많은 "반도체 '생산 공정 에서 귀중 한 자원 이 되게 하는 여러 가지 특징 과 유익 이 있다. Autoetch 490은 순차 재료 에칭을위한 독립적 인 1 개의 무장, 완전 플레 넘, 비 접촉/기계식 회전 전환 애셔를 포함하는 프로그래밍 가능한 에치 장비입니다. 또한 제어 가능한 재료 에치 레시피를위한 5 개의 개별 가스 라인이 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 모든 가스 라인을 완전히 대피하기 위해 공장에서 설치된 퍼지 시스템 (purge system) 을 갖추고 있으며, 높은 수준의 안전 및 공정 제어를 제공합니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 에치 챔버에서 자유 염기 가스를 제거하는 질소 버블러를 특징으로합니다. 질소 버블러 (nitrogen bubbler) 는 또한 식각 물질에서 모든 미립자를 제거하기위한 인라인 여과 장치 및 습식 스크러빙 기술을 포함한다. 습식 스크러빙 기술은 또한 깨끗하고 먼지가없는 작업 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. Autoetch 490은 광범위한 애싱 및 에칭 작업을 처리하도록 설계되었습니다. 이 기계는 최대 14 가지의 다양한 가스 시퀀스 (gas sequence) 를 수용 할 수 있으며, 최종 사용자에게는 다양한 유형의 재료를 에칭하기위한 광범위한 옵션을 제공합니다. 또한 자동 시작 (auto-start) 기능은 주어진 시간 주기에 따라 etching 주기를 시작하여 최종 사용자가 원하는 etch 레시피 시간을 설정할 수 있도록 합니다. LAM RESEARCH Autoetch 490 (LAM RESEARCH Autoetch 490) 은 설치 공간이 작고 기존 장비와의 통합이 용이한 컴팩트하고 견고한 도구입니다. 따라서 공간에 제약이 있는 엄격한 운영 영역에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 결론적으로 Autoetch 490은 매우 강력하고 유연한 가스 에찬트이며 asher입니다. 반도체 제조 공정에 이상적인 고유한 기능과 장점이 있습니다. 완벽하게 자동화되고 작동이 용이하며 유지 보수가 최소화됩니다.