판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780

LAM RESEARCH Autoetch 490은 고 마진 기판의 높은 처리량을 처리하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔는 최적화된 성능과 높은 생산성을 위해 고도로 설계되었습니다. Autoetch 490은 고압, 고용량 공정 챔버 및 광범위한 에치 화학 솔루션을 갖추고 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 가스 활용도를 최대화하도록 설계되었으며, 고급 공정 제어 알고리즘 (Advanced Process Control Algorithms) 은 균일 한 에칭 결과 및 뛰어난 공정 정확도를 지원합니다. 고수율 및 저비용 운영을 위해 설계된 LAM RESEARCH Autoetch 490은 일관된 etch critical feature size 요구 사항 및 프로세스 시간을 통해 여러 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. Autoetch 490에는 active platen temperon control, multiple-gas inlet 및 active cooling system과 같은 다양한 프로세스 옵션이 있습니다. 강력한 프로세스 제어 기능을 통해 LAM RESEARCH Autoetch 490은 실시간 매개변수를 수정하여 에칭 수율 및 프로파일 정확도를 최대화할 수 있습니다. Autoetch 490은 플라즈마 에칭, 습식 에칭, 애싱, 게이트 산화물 에칭 및 사이드 월 프로파일 에칭에 적합합니다. 수율은 50-100% 이며 RF 및 Open Tower 아키텍처와 함께 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 32 비트 Windows 기반 소프트웨어 플랫폼의 표준으로, 기존 운영 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 오토 에치 490 (Autoetch 490) 에는 오염 최소화, 결함 검사 및 프로세스 제어를 위한 고급 소프트웨어 솔루션 등 안전 기능이 있습니다. 시스템이 작동하기 쉬우며, 상태 및 작동 모니터링을 위한 풀 컬러 LCD 디스플레이가 제공됩니다. 원격 액세스 기능은 사용자에게 원격 진단 (remote diagnostics) 기능을 제공하여 시스템이 최적으로 실행되고 있는지 확인합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Autoetch 490은 다재다능한 고 처리량 에처/애셔로, 고 마진 기판을 정확하게 에칭하는 데 사용할 수 있습니다. 견고한 프로세스 제어 기능, 고급 안전 (Safety) 기능, 손쉬운 작동 기능을 갖춘 이 에처/애셔 (Etcher/Asher) 는 다양한 에칭 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.