판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169

LAM RESEARCH Autoetch 490은 반도체 장치의 고정밀 제작을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 통합 플라즈마 에칭, 유도 결합 플라즈마 에칭, 반응성 이온 에칭 프로세스 등 다양한 에칭 및 애싱 기술을 사용합니다. Autoetch 490 시스템은 깨끗한 프로세스 환경을 제공하는 완전 밀폐형 챔버 (Fully Closed Chamber) 로 구성되며, 단위가 엄격한 프로세스 반복성 및 레시피 제어 요구 사항을 준수할 수 있습니다. 플라즈마 에너지는 에칭 프로세스가 매우 반복 가능하도록 정확하게 제어됩니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 복잡한 구조를 정확하게 etch하고 종횡비가 높은 고유 한 형상 모양을 만들 수 있습니다. Autoetch 490에는 출하 시 설치된 로봇 웨이퍼 핸들러 머신 (wafer handler machine) 이 포함되어 있어 자동 웨이퍼 처리 및 로드 포트 작업이 가능합니다. 로봇 핸들러 (Robot Handler) 도구는 처리량이 높고 주기가 짧으며 여러 웨이퍼 크기에 대해 동적으로 재구성 가능한 컨베이어 (Conveyer) 에셋을 제공합니다. LAM RESEARCH Autoetch 490에는 최적의 에칭 성능을 보장하는 웨이퍼 온도 제어 모델도 있습니다. 이 장비에는 고가로 비율 트렌치, 복잡한 비아 (vias), 스루 홀 (through-holes) 및 더 깊은 프로파일을 포함한 다양한 에칭 레시피가 장착 될 수 있습니다. 또한 Autoetch 490을 사용하면 빠르고 쉬운 레시피 수정, 레시피 매개변수 조정 및 프로세스 모니터링이 가능합니다. 이 시스템은 실시간 프로세스 모니터링을 위한 통합 고해상도 비디오 프로세스 모니터도 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 프로세스 제어를 유지하기 위해 종합적인 진단, 경보 및 레시피 관리 소프트웨어를 제공합니다. 원격 진단 및 모니터링 소프트웨어는 원격 프로세스 성능 모니터링 및 제어를 지원합니다. 또한 Autoetch 490은 온보드 레시피 관리, 비접촉 스파크 감지 장치, 자동 설정 파일, 자동 실행 기능 등 다양한 프로세스 자동화 옵션을 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Autoetch 490은 높은 정확도의 반복 가능한 에칭 프로세스를 제공하는 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 도구에는 로봇 웨이퍼 핸들러 (Robot Wafer Handler) 에셋과 다양한 프로세스 제어 옵션이 포함되어 있으며 반도체 장치 제작에 이상적입니다.