판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631

LAM RESEARCH Autoetch 490 (LAM RESEARCH Autoetch 490) 은 화학적 공정 및 온도에 대한 매우 정밀하고 프로그래밍 가능한 제어를 제공하는 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 온도와 에친트 (echant) 요구 사항이 다양한 다양한 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. Autoetch 490은 온도와 논리 함수 모두에 대해 독립적이고, 자동적이며, 컴퓨터화된 제어 시스템을 사용하므로 유연성이 뛰어난 복잡한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시나리오가 가능합니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 고급 프로세스 제어를 갖춘 프리미엄 도구 장치입니다. 12 인치 컬러 디스플레이가 내장되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 명확히 볼 수 있으며 레시피 매개변수를 빠르고 쉽게 보고 조정할 수 있습니다. 또한 각 챔버 (chamber) 의 온도를 자동 보정하고 프로세스 전반에 걸쳐 온도 일관성을 유지하여 에칭 (etched) 컴포넌트의 균일 한 품질을 허용합니다. 기계는 또한 에칭 시간을 정확하고 일관되게 제어 할 수있는 타이머 시퀀스 (timer sequence) 기능을 가지고 있습니다. 또한 이 타이머는 내장 (내장) 제한 컨트롤러와 함께 사용할 수 있어 섬세한 기판 및 부품을 안전하게 보호할 수 있습니다. Autoetch 490은 내부 압축 공기 공급 장치로 구동되어 정확한 에칭, 애싱, 청소 작업을 위해 2 개의 독립적 인 진공 펌프를 구동합니다. E-beam 및 UV 노출 기술을 사용하여 다이 투 다이, 웹 및 릴 투 릴 프로세스를 용이하게합니다. 이 도구에는 프로세스 안정성과 품질 보증을 개선하는 몇 가지 클리닝 기능도 있습니다. 이러한 클리닝 기능 (습식 청소 프로세스 및 반응성 가스 청소 프로세스 포함) 은 주기 시간을 줄이고 LAM RESEARCH Autoetch 490이 높은 순도 에칭 및 애싱 결과를 달성하기위한 효과적인 도구가 될 수 있도록 도와줍니다. 또한 고정밀 (High-Precision) 노즐 조정 기능은 대형기판을 다룰 때 일관성을 보장하며, 이는 반복 가능한 제품 품질에 필수적입니다. 요컨대, Autoetch 490은 뛰어난 품질의 결과를 제공하는 강력한 에칭 및 애싱 (ashing) 자산입니다. LAM RESEARCH Autoetch 490은 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스, 고급 프로세스 제어, 독립 온도 제어, 통합 타이머 및 제한 컨트롤러, 효율적인 클리닝 기능, 정확한 노즐 조정을 통해 모든 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.