판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 490 #175570

ID: 175570
웨이퍼 크기: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH Autoetch 490은 습하고 건조한 화학 에칭 공정의 응용 분야를 위해 설계된 자동 에칭 머신입니다. 이 기계는 다양한 재료와 기판에서 정밀 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 수행하도록 특별히 설계되었습니다. "고주파 교류 (high frequency alternating current) '를 이용해 물질이나 기판의 입자가 움직이고 집중된 화학물질에 노출되는 순차적, 전자동 연산 (fully-automatic operation) 이 특징이다. 이 기계는 성능과 정확도를 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 이러 한 특징 들 가운데 는 정밀 "가스 '" 밸브' 가 있는데, 이 "밸브 '는" 가스' 의 흐름 을 정확 하게 조절 하는 데 사용 되고 소형 진공 "시스템 '은" 에칭' 과정 이 통제 된 환경 에서 이루어지도록 한다. 또한 Autoetch 490에는 컴퓨터로 제어되는 마이크로프로세서 기반 시스템이 있으며, 이를 통해 기계는 프로세스 매개변수를 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 에칭 프로세스는 컴퓨터 제어 (computer-driven control) 를 사용하여 프로세스를 시작합니다. 여기서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수는 원하는 특성을 달성하도록 설정됩니다. 공정이 시작되면, 재료 또는 기판에 교대 고주파 전압 (alternating high-frequency voltage) 이 적용되어 재료 내의 이온이 진동하고, 이로 인해 에칭이 발생합니다. 에칭 과정에서, 에칭 가스가 챔버에 도입된다. 그런 다음 이들 "가스 '가 점화 되어 물질 이 화학 물질 에 노출 되고" 에치' 가 발생 하게 한다. 에칭 프로세스가 완료되면 에치 (etch) 제품을 분석하여 제품 품질을 확인합니다. LAM RESEARCH Autoetch 490 (LAM RESEARCH Autoetch 490) 에는 에치 제품을 실시간으로 볼 수 있는 포스퍼 스크린 (phosphor screen) 이 장착되어 있어 에치 프로세스가 어떻게 진행 중인지, 에칭 재료가 어떻게 보이는지 볼 수 있습니다. 에치 (etch) 프로세스가 완료되면 에치 제품을 청소하거나 폐기할 수 있습니다. 전반적으로 Autoetch 490 은 효율적이고 신뢰할 수 있는 에칭 앤 애싱 (etching and ashing) 시스템으로, 매우 정확하고 일관된 품질의 에칭 제품을 제공하도록 설계되었습니다. 기계에는 습식 (wet) 과 건식 (dry etching) 공정을 모두 수행할 수있는 다양한 기능이 장착되어 있어 정확도가 높고 정확합니다. 이 기계는 에칭 (etching) 공정에 맞춰 정해진 품질 표준 (quality standard) 에 부합하도록 에칭 (etching) 제품을 분석하기 위한 장비도 적절하다.
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