판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620

LAM RESEARCH Autoetch 480은 웨이퍼 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 다양한 애플리케이션에 높은 처리량, 강력한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 다중 챔버 기술을 사용하여 Autoetch 480은 에칭과 ashing을 단일 도구에서 결합합니다. 각 챔버에 대한 독립적 인 질량 흐름 컨트롤러, etch/ash 선택에 대한 디지털 압력 제어, 생산성 향상을 위한 통합 로드/언로드 자동화 등의 기능이 있습니다. LAM RESEARCH Autoetch 480은 프로세스 유연성을 극대화하기 위해 모듈 식 챔버로 설계되었습니다. 이를 통해 고객은 에치 (etch) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 에칭 기능에는 플라즈마 에치, 습식 에치 및 결합 된 습식/건식 에치 프로세스가 포함됩니다. 애싱 기능에는 산소 플라즈마, 원격 플라즈마, 습식 에치 및 결합 된 습식/건식 에치 공정이 포함됩니다. 모든 프로세스는 최대 3 개의 챔버에서 사용할 수 있습니다. Autoetch 480은 또한 최적의 프로세스 반복성과 생산성을 보장하는 고급 프로세스 제어 기술을 제공합니다. 사용이 간편한 레시피 프로그래밍 시스템을 통해 제어 작업을 간소화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 이 도구는 종합적인 프로세스 감사 추적 (process audit trail) 을 유지 관리하며, 운영자에서 사용된 프로세스까지 추적성이 분명합니다. LAM RESEARCH Autoetch 480은 다양한 옵션과 업그레이드를 통해 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 빠른 열 처리, 다양한 챔버, 통합 입자 컨트롤 및 레시피 프로그래밍 인터페이스가 포함됩니다. 또한 Autoetch 는 실시간 도량형, 온라인 모니터링 및 제어, 프로세스 데이터 보고 등 통합 지원 소프트웨어 모듈을 제공합니다. Autoetch 480은 사용자가 수익률을 최대화하고 반복성을 처리하는 데 도움이 되는 고급 etcher/asher입니다. 모듈식 설계는 유연성을 제공하며, 특정 요구 사항에 맞게 공구를 조정할 수 있습니다. EMC 의 제어 기술은 최적의 프로세스 반복성, 수익률을 보장하며, 통합 소프트웨어 모듈은 실시간 모니터링 및 제어를 제공합니다. LAM RESEARCH Autoetch 480은 에칭 프로세스를 업그레이드하려는 고객에게 이상적인 솔루션입니다.