판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX는 전체 웨이퍼 에치/애싱 프로세스에서 백엔드 프로세스 (photoresist stripping 및 metals removal) 와 같은 응용 프로그램에 대한 프로세스 솔루션을 제공하는 에처/애셔입니다. Alliance6 9400 PTX는 단일 프로세스 챔버 (process chamber) 를 갖추고 높은 처리량, 저렴한 비용, 프로세스 설계의 유연성 및 광범위한 프로세스 기능을 제공하는 다기능 고급 etcher/aser입니다. LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX는 병렬 전극 구동 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용합니다. 효율적인 플라즈마 제어를 제공하고, 프로세스의 신뢰성과 반복성을 높이도록 설계되었습니다. 정확한 끝점 검출을 통해 균일하고 깨끗한 에치/애쉬 프로세스를 제공합니다. Etcher/asher는 단일 공정 챔버와 사용하기 쉬운 터치 스크린 컨트롤러로 구성됩니다. 즉, 프로세스 제어를 향상시키고 다운타임을 단축할 수 있도록 설계되었으며, 반복성 (repeatability) 과 균일성 (unifority) 이 향상되었습니다. Alliance6 9400 PTX는 견고하고 안정적인 에처/애셔 (etcher/asher) 로 엄격한 글로벌 안전 및 환경 요구 사항을 충족하여 생산 시스템에 사용하기에 안전합니다. 특허받은 이중 주파수 RF 프로세스 모니터링 시스템과 멀티 웨이퍼 (Multi-Wafer) 처리를 가능하게 하는 고급 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 기판 온도, 공정 가스 구성, 압력, 전력 및 전류를 포함한 여러 프로세스 매개 변수가 포함됩니다. 이러한 모든 매개변수를 정확하게 조정하여 광범위한 에치/애싱 (etch/ashing) 프로세스에 대한 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 가장 진보된 소프트웨어 패키지를 사용하여 프로세스 매개변수의 작동 및 최적화를 용이하게 합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX는 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 높은 처리량과 저렴한 프로세스를 위해 설계되었습니다. 즉, 프로세스 제어가 정확하고 다운타임 (down time) 이 향상되고 반복성과 균일성이 향상됩니다. 또한, 엄격한 글로벌 안전 및 환경 요구 사항을 충족하여 생산 시스템에 안전합니다.