판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9412055

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM은 반도체 업계에서 대용량, 고 처리량 웨이퍼 처리를 위해 설계된 생산 규모 에칭 웨이퍼 제작 모듈입니다. Alliance6 9400 DFM은 고급 고화질 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 전용 에칭 모듈입니다. 모듈에는 3 축 자동 웨이퍼 처리 장비와 고정밀 멀티 존 플래튼 스테이지가 장착되어 있습니다. 시스템의 디자인은 RIE (reactive ion etching), ICP (inductively coupled plasma) etching 및 DRIE (deep reactive ion etching) 와 같은 다양한 에칭 응용 프로그램에 적합합니다. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM은 고정밀 다중 영역 플래튼 단계를 사용하여 정확한 웨이퍼 정렬을 달성하고 배치 에칭 및 웨이퍼-웨이퍼 정렬을 용이하게합니다. 플래튼 (platen) 은 멀티 존 (multi-zone) 모드에서 작동 할 수 있으므로 웨이퍼에서 여러 유형의 여러 에칭을 동시에 사용할 수 있습니다. 고속, 정확성, 신뢰성을 갖춘 고급 웨이퍼 처리 장치는 Alliance6 9400 DFM의 성능 및 운영 유연성을 더욱 향상시킵니다. 또한 실시간 프로세스 제어, 항복 및 런타임 모니터링, 데이터 로깅, 고급 내결함성 (fault-tolerant) 소프트웨어, 인라인/오프라인 결함 검사 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM은 원격 서비스 및 예방 유지 관리 프로그램을 포함한 LAM RESEARCH 종합 서비스 및 지원 네트워크가 지원합니다. 이 툴은 최고 품질의 재료와 제조 기술을 활용하여 안정적이고 일관성 있는 성능을 제공합니다 (영문). 즉, 처리량 및 생산량을 최적화하여 비용을 절감하고 경쟁력을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 기능, 유연한 운영 모드, 신뢰할 수 있는 성능으로 인해 Alliance6 9400 DFM은 광범위한 반도체 제작 요구 사항을 충족하는 안정적인 솔루션입니다.