판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM은 다양한 고급 반도체 프로세스를 지원하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 하이엔드 전용 프로세스 제어 소프트웨어와 독보적인 모듈식 (modular) 설계를 결합하여 탁월한 성능과 정밀도를 제공합니다. Alliance6 9400 DFM은 다양한 에치 및 증착 화학 기능을 제공합니다. 이 장비는 CVD, PECVD 및 ALD 기술과 호환되며 저항 및 에치 화학 물질과 호환됩니다. 기판을 최대 4 인치까지 처리 할 수 있으며 최대 950 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이 시스템은 독점적인 Multi-Plane Linear FlowTec ™ 교환 플랫폼을 사용하여 탁월한 균일성, 반복성, 빠른 주기 시간을 제공하며, 이는 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 또한 사용자의 공정 레시피에 따라 금속 및 하이-k 재료의 균일 한 플라즈마 에칭 (etching) 을 가능하게하는 다용도 플라즈마 소스/펌프 (plasma source/pump) 조합을 특징으로합니다. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM에는 고급 PIC Corporation 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 다양한 가스 중에서 선택할 수 있으며, 필름 증착 및 에칭 프로세스에 대한 고급 원자로 구성이 가능합니다. 이 기계의 독점 소프트웨어는 서브미크론 (Submicron) 기능 제작의 변동성을 줄여 우수한 장치 성능을 보장합니다. 사용자는 이 소프트웨어를 통해 프로세스 성능을 모니터링, 분석, 최적화하여 균일성, 처리량, 수익률을 정확하게 제어할 수 있습니다. Alliance6 9400 DFM은 다양한 생산 요구 사항과 환경 규정 준수에 이상적입니다. 화학적 관리 도구는 안전 및 폐기물 감소와 SEMI S2 요구 사항을 준수합니다. 이 자산은 또한 높은 처리량, 저렴한 요건에 맞게 설계되었습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM은 뛰어난 성능과 정밀도를 제공하도록 설계된 고급형 etcher/asher입니다. 독보적인 모듈식 설계 (modular design) 와 독점 소프트웨어 (proprietary software) 를 통해 사용자는 프로세스를 최적화할 수 있으며, 화학 관리 모델은 환경 규정을 안전하게 준수할 수 있습니다.