판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance #9024992
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LAM RESEARCH Alliance (LAM RESEARCH Alliance) 는 정밀 에치 및 애싱 솔루션에 고급형 정확성을 제공하는 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 마이크로칩 (microchip) 과 기타 전자 부품 (electronics component) 의 에칭 및 재싱에서 작고, 정확하고, 반복 가능한 패턴을 만들도록 설계되었습니다. 장비는 낮은 프로파일 치수 오류와 +/-3 옹스트롬 (angstrom) 의 높은 반복성 (repeatability accuracy) 으로 작은 기능을 생성 할 수 있기 때문에 복잡하고, 구조적으로 까다로운 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적입니다. 이 시스템은 원하는 기판 재료의 정밀도 에칭 (etching) 과 재싱 (ashing) 을 보장하는 여러 고급 컴포넌트로 구성되어 있습니다. 여기에는 고감도 광학 설정 (High-Sensitivity Optics Setup) 이 포함되며, 이는 고해상도 이미징 기능으로 정확한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 고밀도 패턴 생성기와 이미징 서브시스템으로 개별 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 패턴을 조작하고 제어할 수 있습니다. 에칭 프로세스를 위해 LAM 리서치 얼라이언스 (LAM RESEARCH Alliance) 는 에칭 구성을 사용자 정의하고 제어 에치 속도를 달성 할 수있는 강력한 이온 소스와 함께 제공됩니다. 이 강력한 이온 소스는 동적으로 조절 가능한 이온 에너지 범위를 통해 이온을 전달하는 고에너지 단위 (high-energy unit) 로 구성되며, 이를 통해 광범위한 재료를 에칭할 수 있습니다. 또한 "필름 '의 증착 과 기판 의" 에칭' 을 위한 전기, 화학 및 열전 을 생산 할 수 있는 커스텀 에칭 챔버 '가 있다. 이 챔버에는 여러 가지 에칭 매개변수 (etching parameter) 를 관리하고 신뢰성이 높은 반복 가능한 레이어를 달성하기 위한 여러 액세서리가 포함되어 있습니다. 애싱 (Ashing) 프로세스의 경우, 이 장치에는 여러 레시피의 속도를 제어 할 수있는 강력한 제어 머신 (Control Machine) 이 장착되어 있으며, 빠르고 안정적인 프로세스를 위해 자동 장치 프로그래밍을 제공합니다. 얼라이언스 (Alliance) 는 또한 온화한 피드백 루프 (feedback loop) 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 또한 미국 Gcode (Gcode) 와 VLSI CAD (VLSI CAD) 를 지원하는 소프트웨어 인터페이스를 제공하며, 직관적인 레이아웃, 매개변수 시뮬레이션 및 최적화를 통해 에칭 및 애싱 프로세스의 최고 수준의 정확성을 보장합니다. LAM RESEARCH Alliance (LAM RESEARCH Alliance) 는 정확성, 반복성 및 신뢰성을 갖춘 정밀 에칭 및 애싱 어플리케이션에 대한 까다로운 업계 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델은 마이크로 일렉트로닉스, 반도체, 의료 기기, 자동차 산업에 사용되며, 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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