판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 etcher/asher는 반도체 장치 제작에 필요한 관련 청소, 물리적 증기 증착 및 리소그래피 프로세스와 함께 필름의 증착 및 에칭을 위해 특별히 설계된 다기능 기계입니다. 이 기계는 광범위한 에칭 기능과 MEMS 장치, 복합 반도체 장치, 마이크로 일렉트로닉 장치 등 여러 응용 프로그램을 제공합니다. Alliance TCP 9600 etcher/asher에는 최대 4 "x 4" 크기의 기판을 수용 할 수있는 대용량 14 "긴 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 챔버는 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 원에 의해 생성 된 염소 및 산소 함유 플라즈마를 통해 가열된다. 이어서, 플라즈마 에너지는 폴리 실리콘, 에피 택시, 비정질 실리콘 및 기타 재료와 같은 증착 된 층의 극도로 정확한 에칭을 허용한다. 에처/애셔에는 RF 바이어스 발전기와 허니 웰 (Honeywell) 압력 조절기가 포함되어 있으며, 고품질 에칭을위한 플라즈마 파워와 압력의 정확한 조합을 허용합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE TCP 9600은 또한 2 개의 in situ 이온 질량 분석기를 제공하여 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 에칭 속도 및 에치 균일성에 대한 중요한 정보를 제공합니다. 제조업체는 에칭 속도와 균일성을 모니터링함으로써 보다 정확한 에치 (etch) 결과를 얻을 수 있으며, 프로세스 변동성을 줄이고, 궁극적으로 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 인시 투 이온 질량 분석기 (in-situ ion mass spectrometer) 는 추가 에치 레시피를 쉽게 통합하여 다운타임이 최소화되면서 새로운 재료를 에칭할 수 있습니다. Alliance TCP 9600에는 강력하고 사용자 친화적인 Windows (Windows) 호환 소프트웨어 제품군이 장착되어 있어, 에치 레시피를 쉽게 설치 및 실행할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 데이터 분석 기능 (data analysis capability) 이 포함되어 있어 사용량 데이터와 에칭 결과를 손쉽게 추적할 수 있으며, 제조업체가 보다 빠르고 효율적으로 고품질 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다. LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 etcher/asher는 모두 고품질 에칭, 강력한 소프트웨어 제품군, 정확하고 안정적인 에칭 프로세스를 위한 실시간 모니터링 기능을 제공하는 고가용성 기계입니다. 이 기계는 다운타임을 최소화하면서, 매우 정확한 에칭 (etcher) 및 정확한 모니터링 기능을 갖춘 etcher/asher가 필요한 제조업체에 적합합니다.