판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293793431

LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX는 높은 처리량 및 처리량 일관성을 제공하는 etcher/asher입니다. 세라믹 및 금속 기질의 에칭 및 재싱에 사용됩니다. 프로그래밍 가능하고 반복 가능한 프로세스와 자체 모니터링 성능으로 고정밀 결과를 제공합니다. 이 장비는 터치 스크린 컬러 컨트롤러에서 실행되며, 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기간을 위해 최대 0.05초의 단계 시간 제어 해상도를 제공합니다. 이 에칭/애싱 시스템은 시간당 약 400 기판의 높은 처리량을 제공하며, 클린 룸 (cleanroom) 프로토콜을 준수하도록 설계되었습니다. TCP 9400 PTX asher에는 공랭식, 저압 반응성 챔버, 공정 가스 모듈 및 온도 및 진공 제어가 포함되어 있습니다. 이 장치는 실리콘 구성을위한 트라이 가스 에칭 기능도 제공합니다. 입자 제어 및 입자 증착 방지를 보장하기 위해 필터링 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 고급 원자로 굴뚝 디자인을 사용하여 효율적인 프로세스를 제공합니다. 이것은 가스 확산을 최소화하고 빠른 에칭 시간을 촉진하는 데 도움이됩니다. 에셋은 또한 정확한 에칭 제어, 개선된 균일성, 배치에서 배치까지의 뛰어난 반복성을 제공합니다. TCP 9400 PTX 모델에는 안전한 운영 환경을 보장하는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 이 장비는 또한 자체 진단 기능을 제공하여 외부 변조를 감지합니다. 또한 이 시스템에는 다운타임을 최소화할 수 있는 낮은 유지 보수 설계도 포함되어 있습니다. 스테인리스 스틸 합금 재료는 가스가 적고, 누출 농도가 낮으며, 기판의 오염을 방지합니다. 이 장치는 다양한 기판으로 고품질 (High-Quality) 결과를 낼 수 있으며, 다양한 생산 공정의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 탄성 인감 (elastomeric seal) 은 정확성과 정확성을 보장하는 반면, 챔버 설계는 결과의 반복성과 빠른 프로세스 시간을 제공합니다. 또한, 고급 프로세스 모니터링 시스템은 오류를 최소화하고 에칭 시간을 줄입니다. 전반적으로 Alliance TCP 9400 PTX는 다양한 생산 라인 및 대용량 생산 요구에 이상적인 etcher/asher입니다. 이 도구의 처리량, 에칭 (etching) 및 안전 (safety) 기능을 정확하게 제어하면 고밀도 에칭 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션이 됩니다.