판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727
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ID: 293627727
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX는 공장 생산을위한 바람직한 asher/etcher 기계입니다. 이 작고 사용하기 쉬운 기계는 주로 웨이퍼 기판 처리에 사용됩니다. PTX 모델은 높은 정밀도와 정밀도가 필요한 재료 성장 및 제거 응용 프로그램에 이상적입니다. 자동화 기능은 처리량을 극대화하고, 애플리케이션당 비용을 절감하며, 운영을 단순화합니다. PTX는 플라즈마 강화 에치 기술 (Plasma Enhanced Etch Technology) 을 사용하며, 최적의 챔버 디자인과 고급 에칭 매개변수가 뛰어난 품질 결과를 제공합니다. 이 고도의 고급 에처 (etcher) 는 뛰어난 증착 프로파일, 균일 한 중첩 및 날카로운 피쳐 정의를 가지고 있으며, 결함이 없는 웨이퍼와 더 큰 수율을 제공합니다. TCP 9400 PTX는 기울기 회전 (Tilt Rotation) 단계를 통해 정확한 패턴 인식으로 정밀한 처리 정렬을 제공합니다. 이것은 정확한 균일성을 유지하면서 모든 크기와 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 평균 총 연장 시간이 97% 인 뛰어난 서비스 수명을 가지고 있습니다. 이 장비는 저전력 및 고밀도 어플리케이션 모두에 적합한 90nm 단일 웨이퍼 프로세스를 기반으로합니다. 고객의 특정한 요구에 맞게 결과를 사용자 정의할 수 있는 다양한 시스템 옵션을 제공합니다 (영문). 다른 기능으로는 전체 웨이퍼에 균일한 전원을 공급하는 25W 고출력 무선 주파수 (HPP), 자동 노치 선택 (Automatic Notch Selection), 프로세스 제어 및 모니터링을 위한 안전한 원격 데이터 관리 장치 (Secure Remote Data Management Unit) 등이 있습니다. PTX는 장기적인 안정성, 정확한 패턴화 및 반복성, 까다로운 운영 요구 사항을 충족하는 고성능 머신 (HPM) 을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 또한 컬러 터치 스크린 (Color Touch Screen) 과 업데이트된 소프트웨어 (Updated Software) 를 통해 높은 수준의 운영자 편안함과 유연한 작동을 제공하여 장비의 작동과 유지 관리를 더욱 단순하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 기계는 모든 운영 환경에 적합하며, 최적의 가동 시간, 프로세스 제어, 재현성을 제공합니다.
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