판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920

LAM RESEARCH Alliance A6은 처리량이 많은 처리를 위해 설계된 단일 웨이퍼 배치 에처/애셔입니다. 소형 설치 공간, 고성능, 뛰어난 처리 능력을 갖춘 첨단 기술을 제공합니다. Alliance A6은 독립적 인 DC 바이어스 제어를 갖춘 이중 단계 RF 플라즈마 소스를 특징으로하며, 우수한 에칭/애싱 선택성과 높은 이방성 에치/애쉬 프로세스를 제공합니다. 또한 고밀도 플라즈마 에치 또는 드라이 스트리핑 에치를 위해 구성 할 수 있습니다. 챔버에는 에치 균일 성을 향상시키기 위해 자동화 된 중앙 지향 가스 분배 장비가 포함되어 있습니다. 중앙 지향 가스 분포 기능은 전통적인 공동 선형 슬릿 시스템에 비해 에치 균일 성이 10 배 개선되었습니다. 컴팩트하지만 강력한 웨이퍼 레벨 로드/언로드 시스템은 샘플 로드/언로드 및 배치를 쉽게 할 수 있습니다. LAM LAM RESEARCH Alliance A6은 최대 6 "(150mm) 의 표준, 깨지기 쉬운 및 두꺼운 필름 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 고온 프로세스 (최대 450 ° C) 및 고압 프로세스 레시피 (최대 65 Torr) 를 수용하도록 설계되었습니다. 이 시스템의 제어 하드웨어와 소프트웨어는 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 쉽게 리콜 할 수있는 수백 가지 레시피를 저장할 수 있습니다. 세련되고 직관적 인 기능의 수준은 복잡한 프로그래밍을 필요로 하지 않습니다 (영문). Alliance A6 는 사용자 생산성, 반복성, 탁월한 프로세스 성능을 보장하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 고급 진단 및 모니터링, 수소 희석 제어, 균일 한 가스 분사 및 기판 RF 바이어싱이 포함됩니다. LAM RESEARCH Alliance A6은 반도체, 광학 및 광전자 장치를 포함하여 고성능 박막 재료를 증착하기위한 이상적인 에치/애쉬 도구입니다. 탁월한 기능을 통해 생산성 및 처리량 향상을 위한 탁월한 선택이며, 탁월한 프로세스 제어 및 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다.