판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023

LAM RESEARCH Alliance A6은 가장 까다로운 에치 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 정밀 에칭 및 애싱 장비입니다. Alliance A6 는 다양한 에칭 및 애싱 애플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 나노 스케일 (Nanoscale) 장치 제작 및 MEMS 프로토타입을 위한 완벽한 툴이 되는 고급 고급 (Advanced) 고급 기능이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 (LAM RESEARCH Alliance A6) 은 동일한 플랫폼에서 매우 정확한 플라즈마 생성 및 제어를 제공하여 사용자가 단단한 플라즈마 매개변수 안정성과 다양한 에칭 및 애싱 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 이 시스템은 서브 미크론 에칭뿐만 아니라 고해상도 이온 빔 에칭 및 애싱 조작이 가능합니다. 이것은 고급 에칭 및 애싱 레시피 기능과 실시간 플라즈마 모니터링 시스템을 통해 가능합니다. Alliance A6은 최첨단 고성능 DC 마그네트론 스퍼터링 소스로 제작되었습니다. 이것은 여러 샘플 기판 (sample substrate) 으로 작동하기 위해 동시에 매우 높은 에칭 속도와 애싱 속도를 보장합니다. 이 장치는 또한 동적 피드백 제어를 위해 레이저 간섭계 (Laser interferometer) 옵션을 사용하여 프로세스를 명확하게 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 샘플의 모든 부분에 에칭/애싱 특성이 있습니다. LAM RESEARCH Alliance A6은 최고의 결과를 보장하기 위해 안전 및 환경 준수를 위해 안정적입니다. 반도체 산업 및 청정실 대기 질 표준을 완전히 준수합니다. 이것은 샘플의 무결성을 오염, 고조파 노이즈 및 그 과정에 영향을 줄 수있는 다른 환경 요인으로부터 보호합니다. 또한, 샘플 후 에칭에 화학 잔기 (chemical resues) 가 남아 있지 않도록 오염 제거 기가 포함되어 있습니다. 전반적으로 얼라이언스 A6 (Alliance A6) 은 여러 기판 유형에 대한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에 이상적인 선택으로 뛰어난 프로세스 제어 및 결과를 제공합니다. 하이엔드 기능은 다양한 nanoscale 장치 제작 및 MEMS 프로토 타이핑 애플리케이션에 적합합니다.