판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 TM #9152887

LAM RESEARCH Alliance A6 TM은 고급 고성능 에처/애셔입니다. 그것 은 여러 종류 의 재료 를 정확 하고 정확 하게 에칭 (eching) 하고 "애쉬 '할 수 있다. 직경 610 mm, 높이 460 mm 의 샘플을 수용 할 수있는 큰 에치 챔버 (etch chamber) 가 있으며, 단면 및 양면 구성으로 샘플을 처리 할 수 있습니다. 작업당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 최대 10 마이크로 미터/분의 에칭 속도를 달성 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 첨단 로봇 팔이 있어 다양한 구성에서 샘플을 처리 할 수 있습니다. 균일 한 에칭과 관련하여 탁월한 정확도를 제공하며, 동시 멀티 웨이퍼 프로세싱도 가능합니다. etcher/asher는 낮은 소유 비용으로 매우 효율적이도록 설계되었습니다. 2 단계 압력 제어 시스템 (etching and ashing process) 을 통해 에칭 과정에서 프로세스 압력을 조정할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 에치 레시피로 고해상도 에칭을 제공 할 수 있습니다. 레시피는 필요한 결과에 맞게 맞춤 조정할 수 있습니다. 또한 다양한 온도, 시간, 가스 흐름 설정으로 조정할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 가변 주파수 전원 공급 장치와 편리한 작동 및 제어를 위한 내장형 사용자 친화적 인터페이스가 장착되어 있습니다. etcher/asher는 반도체, MEMS/MOEMS 및 홀로그램 산업을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 비활성 대기 시스템 및 소화 시스템과 같은 포괄적 인 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 실시간 모니터링을위한 종합적인 센서 네트워크가 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 안전하고 효율적인 처리를 수행할 수 있습니다. 얼라이언스 A6 TM (Alliance A6 TM) 은 TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 뛰어난 정확성과 정확성을 제공하는 고급 에처/애셔입니다. 이 제품은 다양한 어플리케이션에 적합하며, 다양한 범위의 안전 시스템 (Safety System) 을 갖추고 있습니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 다양한 레시피와 호환되므로 최적의 에칭 조건을 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.