판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX는 대량 생산 반도체 제조 시설을 위해 설계된 고정밀 자동 에처/애셔입니다. 이 기계는 처리, 소개, 코팅, 에칭 프로세스를 최적화하여 웨이퍼를 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 장비에는 asher 및 난방 기능이 통합 된 개별 제어 장치가 포함됩니다. 제어 장치 (Control Unit) 에는 정확한 프로세스 제어, 전기 기계 밸브, 반응성 및 프로세스 가스 소개 및 관리를위한 가스 패널, 고속 리프팅 시스템을위한 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 가 포함되어 있습니다. 개별 애셔는 X축 스테이징 장치 (staging unit) 가 운반하는 리프트에 위치한 플랫폼으로 구성됩니다. 리프트는 플랫폼을 수직으로 이동하고 X-축 스테이징 머신 (X-Axis staging machine) 은 전체 프로세스 챔버를 통해 플랫폼을 이동합니다. Alliance A6 TCP 9408에는 LAM RESEARCH EECO-GATE Precision Tuning Tool, 파일럿 asher a3 및 Auto-Pilot Asher 프로세스 소프트웨어와 같은 여러 고급 프로세스 제어 기술이 있습니다. EECO-GATE 에셋은 RF 전력을 최적화하여 에칭 프로세스의 반복 및 반복 가능한 반복을 가능하게합니다. 파일럿 애셔 (Asher) a3 모델은 프로세스 매개변수를 완전히 독립적으로 제어 할 수 있으며, 각 웨이퍼에 대해 에칭 프로세스를 반복 가능하고 반복 할 수 있는지 확인합니다. 자동 파일럿 애셔 (Auto-Pilot Asher) 프로세스 소프트웨어는 프로세스 제어에서 중요한 역할을 수행하므로 RF 전력의 자동 수정, 에칭 속도, 흐름 속도, 기타 프로세스 변수와 같은 프로세스 프로세스 자동화가 가능합니다. 얼라이언스 A6 TCP 9408 (Alliance A6 TCP 9408) 에는 통합 냉각/난방 장비가 포함되어 있어 프로세스 존 (zone) 의 정확한 온도 조절이 가능하므로 필요한 온도 범위 내에서 에칭 프로세스가 수행됩니다. 이 기계는 또한 전극 교체 시스템 (electrrode replacement system) 을 함유하고 있는데, 이를 통해 다른 작업에 대한 전극과 수동 개입없이 다른 웨이퍼를 빠르게 대체 할 수 있습니다. 또한 Alliance A6 TCP 9408에는 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit), 화재 억제 장치 (Fire Suppression Machine) 및 비상 차단 밸브 도구를 포함한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 기계의 필터 에셋은 프로세스 환경을 오염으로부터 보호하기 위해 설계되었습니다. 요약하면, Alliance A6 TCP 9408 PTX는 완전하고, 반복 가능하며, 반복 가능한 웨이퍼 프로세스를 반복 할 수 있도록 설계된 강력한 에처/애셔입니다. 이 기계는 여러 가지 고급 공정 제어 기술 (process control technologies) 과 안전 (safety) 기능을 갖추고 있어 대량 생산 반도체 제작 요구에 적합한 선택입니다.