판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9354470
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9354470
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8"
Install type: Through the wall
Integrated gas panel
No SMIF
PM 1: Microwave
PM 2: 9600 PTX
PM 3: 9600PTX
PM 4: Microwave
PM 5: Aligner
PM 6: Cool station
Electrostatic chuck
On process turbo pump channels
VAT65 Turbo gate valve
Endpoint detection system
Photodiode endpoint
End point 1 P/N: 853-540066-011
CD Rom manuals
Alliance mainframe:
MAG7 Robot
Dual blade
Rotational VCE6 with dynamic seal
Signal lamp tower
Gate valve: Heated (PM2, PM3)
Turbo pump (PM2 and PM3):
SEIKO SEIKI H1303CV3 Turbo pump
RF / Microwave generator:
MKS CPS PM 1 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 2 Top
ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM 2 Bottom
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 3 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 HALOPM 3 Bottom
MKS CPS PM 4 Top
Chiller:
One/Two cooling channels
Quantity: Up to 4
Gas box configuration:
PM1:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
PM2:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / STEC / - / - / BCL3
2 / STEC / - / - / CL2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM3:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / BCL3
2 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / CL2
3 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2900M / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM4:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
No standard manuals.
LAM RESEARCH Alliance A6 9600 (LAM RESEARCH Alliance A6 9600) 은 고급 기술을 기반으로 하는 완전 자동화된 신속한 열 처리 장비로, 사용자에게 최고의 정확성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 25 ° C ~ 900 ° C의 온도 범위 내에서 작동하며 +/- 5 ° C의 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 즉, 처리 실 내부의 환경은 가열되고 식히는 동안 일관성을 유지합니다. 온도 안정성은 온도와 기판 조합에서 최적의 에칭 또는 애싱 성능을 보장합니다. 이 장치에는 유연한 레시피 컨트롤을 제공하는 직관적 인 임베디드 컨트롤 머신 (Embedded Control Machine) 이 장착되어 있어 대기, 가열 속도, 냉각, 엔드 포인트 수정 및 기타 여러 프로세스 매개변수를 통합 할 수 있습니다. 또한, 필요한 경우 이러한 프로세스 매개변수를 동적으로 조정할 수 있습니다. 에셋은 한 번에 최대 6 개의 기판을 100mm 직경의 공정 챔버 크기와 8 인치 또는 12 "의 기판 크기로 처리 할 수 있으며, 처리량이 더 높습니다. 챔버 (Chamber) 는 에칭 및 산화 프로세스를 수행하도록 설계되었으며, 챔버 커버를 열지 않고도 작업 진행 상황을 명확하게 볼 수 있도록 쿼츠 창 뷰어 (quartz window viewer) 를 갖추고 있습니다. 얼라이언스 (Alliance) A6 9600 빠른 열 처리 모델 (Rapid Thermal Processing Model) 은 정확한 온도 안정성을 달성하고 기판을 처리할 때 최대 효율성과 성능을 달성하려는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다