판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9296417

LAM RESEARCH Alliance A6 9600은 시장에서 가장 발전된 에치/애셔 중 하나입니다. 특히 고품질 에치/애쉬 웨이퍼 (etch/ashed wafer) 를 생산할 수 있기 때문에 반도체 업계에서 사용하기에 이상적입니다. 장비는 두 가지 주요 구성 요소 (주 챔버 및 공정 챔버) 로 구성됩니다. 주 챔버에는 RF 소스 (RF source), 프로세스 제어 (process control) 및 전원 공급 장치 (power supply) 를 포함하여 기계에 필요한 모든 컴포넌트가 있습니다. 반면에, 공정 챔버는 에칭/애싱이 발생하는 영역입니다. A6 9600은 저주파 (100 kHz) 및 고주파 (4.2 MHz) RF 처리가 가능하며, 심해 에칭 및 이온 폭격을 포함한 다양한 프로세스 기능이 있습니다. 시스템은 고급 RF 모니터링을 사용하여 에칭/어싱 프로세스를 정확하게 제어합니다. 또한, 이 장치는 RF 소스에서 최대 900 와트의 전력을 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 정확하고 빠르게 에치/재시 된 웨이퍼가 가능합니다. A6 9600에는 자동 진공 차폐기, 특허를받은 열 모니터링 도구, 도어 셔터 잠금 장치 (door shutter lock) 등 최신 안전 기능이 장착되어 있습니다. 안전 기능은 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스가 안전하고 잠재적 인 사고를 방지하도록 설계되었습니다. 또한, 에셋에는 매개변수를 설정하고 프로세스를 모니터링할 수 있는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 있습니다. 따라서 쉽게 사용할 수 있으며, 최소한의 공간이 필요합니다. 이 모델에는 최대 10 개의 레시피를 저장할 수있는 강력한 데이터 로깅 (data logging) 장비를 포함하여 고급 데이터 처리 기능도 있습니다. 전반적으로 Alliance A6 9600은 최소한의 노력으로 탁월한 에칭/애싱 결과를 제공하는 고도의 고급 에치/애셔 시스템입니다. 최신 안전 기능, 고급 RF 모니터링 및 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스가 있습니다. 이 장치는 고품질의 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 원하는 사람에게 적합합니다.