판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9276388

LAM RESEARCH Alliance A6 9600은 고급 반도체 장치 제조를위한 고정밀 에치 및 애쉬 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, 금속, 유전체 등 다양한 기판에 대해 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 에칭 및 청소 작업을 제공합니다. 높은 에치 레이트와 정확한 정확성을 요구하는 유전체 에칭 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 고급 기술 기능과 직관적인 사용자 친화적 제어 옵션 (control options) 이 장착되어 있어 탁월한 제품 성능과 유연성을 제공합니다. Alliance A6 9600은 정확한 질량 흐름 제어를 갖춘 인라인 테트라 플루오로메탄 (CF4) 에치 챔버를 갖추고 있으며, 최대 250mm/s 에치 레이트와 고해상도 2.5mm x 2.5mm 패치 크기에서 고도로 반복 가능한 에치 프로파일을 제공합니다. 최적화된 디지털 전하-중화 머신은 우수한 산화 준수를 보장하며, 산화 드리프트를 줄이고 ± 2V 범위 내에서 유지됩니다. 에치 툴은 또한 자동 프로파일 제어를 갖춘 8 포인트 고리 형 가우스 (anular gaussian) 전자 빔 소스와 최대 0.02 "m 라인 너비를 생산할 수있는 고해상도 패턴 생성기를 갖추고 있으며, 소형 장치 기능의 대용량 생산에 적합합니다. 이 자산에는 최대 2800 ° C 온도 제어를 제공하는 6 인치 이중 구역 진공 애쉬 챔버 (Ash Chamber) 와 빠른 웨이퍼 처리량 및 기판 호환성을 제공하는 8 가스 믹스 공급 장비를 갖춘 통합 애쉬 모델이 포함되어 있습니다. 또한이 시스템은 종점 정확도를 향상시키고, 포토 esist 선택성을 최적화하고, 알칼리 재 오염을 제거하기위한 통합 수소 제어 장치 (HCS) 를 제공합니다. LAM RESEARCH Alliance A6 9600은 고급 반도체 장치 제조에 필요한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 기계는 프로세스 호환성, 생산성, 균일성 제어, 처리량 등에 최적화되어 wafer to wafer, lot to lot의 빠르고 정확하며 반복 가능한 etch 결과를 제공합니다.