판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9104047

LAM RESEARCH Alliance A6 9600은 고급 etcher/asher 장비로, 고도로 전문화된 어플리케이션을 위한 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 물리적 증기 증착 어플리케이션을위한 RF RF (RF RF) 전원 공급 장치뿐만 아니라, 식각 기능 향상을 위해 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 A6 9600은 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 를 통해 손쉽게 처리하고 안정적으로 작동할 수 있습니다. A6 9600의 핵심에는 강력한 MEBL (multi-beam electron beam lithography) 시스템이 있습니다. 이 장치는 여러 쌍의 전자 빔 열 (electron beam column) 로 구성되어 있으며, 이는 인상적인 속도로 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 정확도를 높이고 우수한 패턴 충실도를 제공하는 invar-mesh 셔터가 특징입니다. 또한 최첨단 빔 디플렉션 기능 (최첨단 빔 디플렉션 기능) 과 고급 마스킹 기능 (처리 속도 향상) 을 갖추고 있습니다. 얼라이언스 A6 9600 (Alliance A6 9600) 은 또한 정밀 에칭 애플리케이션에 적합하며, 프로세스 제어와 정밀 에치 속도가 뛰어난 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 또한 매우 훌륭한 피쳐 크기를 포함하는 에치 패턴 (etch pattern) 을 생성 할 수 있습니다. 에지 바이어스 제어 (Edge Bias Control), 다중 채널/채널 바 컨트롤러 (Multi-Channel/Channel Bar Controller) 및 온도 제어 (Temperature Control) 와 같은 추가 기능도 에칭 성능의 향상에 기여합니다. A6 9600에는 고압 아르곤 이온 증발, 스퍼터 코팅 (sputter coating) 등 물리적 증기 증착을위한 여러 기술도 포함되어 있습니다. 이 기술들은 금속 (metal) 과 다양한 유전체를 포함한 다양한 기판을 코팅하는 데 사용되며, 포토리토그래피 (photolithography) 공정을 사용하지 않고 복잡한 다층 구조를 만듭니다. 또한, 이 기계에는 고급 RF RF 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 다양한 재료 및 가스 버전과의 호환성을 제공합니다. LAM RESEARCH Alliance A6 9600 (LAM RESEARCH Alliance A6 9600) 은 다양한 업계에서 가장 까다로운 어플리케이션을 처리하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수 있는 etcher/asher 툴입니다. 강력한 MEBL 시스템과 다양한 증착 및 에칭 (etching) 기술이 탑재되어 있어 고정밀 마이크로 패브라이션 프로젝트를 위한 탁월한 선택입니다. 또한 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 는 운영 및 데이터 분석을 용이하게 하며, 단일 시스템을 통해 사용자가 정확하게 제어할 수 있도록 합니다.