판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9038684
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판매
ID: 9038684
빈티지: 1999
Etcher, parts machine
Includes:
(1) 9600 PTX
(1) AsTex
Mag7
Deinstalled
1999 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX는 반도체 웨이퍼 제조를 위해 설계된 강력한 에처/아스퍼 장비입니다. 이 etcher/aspher 시스템은 강력한 모터 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 갖춘 LAM 의 업계 최고 수준의 고해상도 에칭 기능을 갖추고 있습니다. A6 9600 PTX는 정밀 에칭 (eching), 아스퍼링 (asphering) 및 클리닝 기능으로 더 큰 장치 생산량 및 더 높은 수율을 보장하도록 설계된 견고한 설계를 갖추고 있습니다. A6 9600 PTX는 획기적인 에치 및 클리닝 기능을 갖추고 있으며, 이전 모델에 비해 2 배의 에치 레이트와 80% 더 높은 수율을 달성 할 수 있습니다. 탁월한 에칭 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고성능 에치 제어 머신 (etch control machine) 은 입자 생성을 줄이면서 생산 수준 웨이퍼 표면에 미세한 입자 제거를 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 우수한 프로세스 반복성과 균일성을 제공하여 고수율 (High-Yield) 생산 표준을 충족할 수 있습니다. A6 9600 PTX에는 사용하기 쉬운 제어판과 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 자산은 사용자 친화적으로 설계되었으며, 보안 (Secure) 연결을 통해 원격으로 작동할 수 있습니다. 유연한 자동화 플랫폼은 고급 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 수집 (data acquisition) 기능을 제공하여 복잡한 운영에 적합합니다. A6 9600 PTX는 광범위한 아스페릭 형태 및 에칭 매개변수를 사용하여 작업 할 수 있습니다. LAM 은 독점 애플리케이션 어시스턴트 (Application Assistant) 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어는 비스페링 프로세스의 정확성을 높이고 운영자 오류의 가능성을 최소화하도록 설계되었습니다. 빠른 연결성, 효율적인 통신 시스템은 웨이퍼의 자동 로드 및 언로드를 지원합니다. A6 9600 PTX는 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 4 단계 여과 모델은 업계에서 가장 높은 청결 수준을 보장합니다. 방대한 누출 감지 (leak-detection) 및 과온 보호 (over-temper protection) 를 포함한 고급 안전 기능은 작동 중 장비 안전을 보장합니다. 이 시스템은 반복 가능한 품질을 지원하고 영향이 적은 생산 프로세스에 기여하도록 설계되었습니다.
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