판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9025958
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LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX는 고밀도 플라즈마 기술을 사용하여 에치 공정 화학을 정확하고 반복적으로 제어 할 수있는 etcher/asher 장비입니다. 이 에처/애셔는 실리콘, 게르마늄, GaAs, SiO2, SiGe 및 기타 화합물 반도체, 금속, 세라믹 및 폴리머와 같은 다양한 물질의 빠르고 효율적이며 정확한 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A6-9600PTX에는 스캔 속도 25kHz가 가능한 마이크로 미터 수준의 해상도 스캔 시스템도 장착되어 있습니다. 이 고속 스캐닝 장치 (High-Speed Scanning Unit) 는 높은 수준의 정확성과 반복성으로 가변 에치 깊이, 각도, 폭을 허용하도록 설계되었으며 특히 높은 화면 비율의 정밀도 에치 (etch) 어플리케이션에 유용합니다. 또한 ALLIANCE A6 9600PTX는 인력과 장치 자체를 모두 보호하기 위해 정교한 위험 제어 머신으로 설계되었습니다. 이 장치에는 안전하고 깨끗한 작동을 보장하기 위해 가스 차단 센서, 비활성 퍼지 가스 전달 도구, 압력 컨트롤러 (pressure controller) 가 장착되어 있습니다. ALLIANCE A6-9600PTX는 또한 다양한 온도 가스 수송 자산 (가변 온도 가스 수송 자산) 을 제공하는데, 이는 광범위한 에치 화학 물질을 활용할 수 있도록 설계되었습니다. Alliance A6 9600 PTX는 여러 프로세스 단계를 거치지 않고 효율적인 발사를 가능하게 하도록 특별히 설계되었습니다. 애셔 (asher) 는 고밀도 플라즈마를 사용하여 표면에서 균일 한 에치 레이트를 보장하고 재 처리 중 변형을 제거합니다. 이 모델은 또한 통합 플라즈마 피드백 제어 장비를 사용하여 에치 레이트 (etch rate) 와 프로세스 반복성을 정확하게 제어합니다. 소형 크기 때문에 LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9600PTX는 실험실 환경에 이상적인 선택이며, 작동하기 쉽고 효율적입니다. 에처 (Etcher )/애셔 (asher) 시스템에는 직관적 인 사용자 인터페이스가 제공되어 필요에 따라 빠르게 매개변수를 설정하고 수정할 수 있습니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX는 비용 효율적이고 효율적인 에치 및 애싱 (ech and ashing) 을 위한 탁월한 선택입니다.
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