판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416

LAM RESEARCH Alliance A6 9400은 반도체 장치 제조를 위해 광범위한 작업을 처리하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 특허를 획득한 기술을 활용하여 탁월한 프로세스 제어, 향상된 처리량, 향상된 에칭/어싱 (eching/ashing) 프로세스 생산량을 제공합니다. A6 9400 시리즈는 최대 100 cm2 웨이퍼 용량의 모든 etch/ash 프로세스 요구 사항을 지원할 수 있습니다. A6 9400 (A6 9400) 은 공정의 정확성과 균일성을 보장하기 위해 여러 자동 기능을 갖춘 대형의 견고한 에처/애셔입니다. DOGD (Dry Operated Gas Delivery) 기술을 사용하여 디지털 제어 밸브로 가스 흐름을 정확하게 제어합니다. 이것은 에치 프로세스에 깨끗하고 안정적인 가스 환경을 제공합니다. 또한 정확한 온도 조절을 위해 비 접점 온도도 통합되어 있습니다. 또한 빠른 플러싱 장비를 사용하여 샘플 처리 시간을 줄입니다. A6 9400은 고속 시스템 구성을 통해 처리량을 높이고 에칭 시간을 단축합니다. 여기에는 고급 마스킹 및 에칭을위한 고해상도, 300W RF 생성기, 고해상도, 고속, 플라즈마 필드의 균질성 향상을 위한 레이저 튜닝 장치, 빔 형상을 최적화하는 고속 스캔 기술이 포함됩니다. 이 시스템에는 반복 가능성 및 데이터 추적성을 위한 고급 컴퓨터 제어 (computer control) 및 레시피 스토리지 (recipe storage) 기능도 포함되어 있습니다. A6 9400은 직관적인 작동 도구 (Operating Tool) 와 터치 스크린 제어판 (Touch Screen Control Panel) 을 통해 쉽게 구성하고 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 에셋은 사용자 정의 가능한 매개변수와 설정으로 특정 에치/애쉬 (etch/ash) 요구 사항을 충족하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 패스 스루 (pass-through) 에어록 보호, 조정 가능한 노출 제한이 있는 실시간 도량형, 대기 모니터링 모델 등의 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있습니다. Alliance A6 9400은 신뢰할 수 있고 고급 etcher/asher로, 탁월한 프로세스 제어, 향상된 처리량, 손쉬운 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 특허를 획득한 기술과 맞춤형 기능을 활용하여 효율적이고 효과적인 반도체 장치 제작을 위한 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 요구 사항을 지원합니다.