판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9132995
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400은 고급 기판의 대량 처리를 위해 설계된 etcher/asher입니다. 에칭, 증착, 스트리핑 및 산화를위한 다용도 도구입니다. 세라믹 필름, 금속, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. A6 9400은 최적화 된 에칭 및 증착 프로세스를 위해 고급 진공 제어, 열 제어, 플라즈마 소스 기술을 갖추고 있습니다. 가장 좋은 에칭 (etching) 및 증착 결과를 보장하기 위해 다양한 진공 압력 및 기질 온도를 기판에 적용 할 수 있습니다. 에치 프로파일은 고급 가스 링 및 유속 제어를 사용하여 제어 및 최적화됩니다. 또한 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있도록 고급 기판 홀더 설계가 있습니다. 이 장비에는 루프 열 제어 시스템 (closp loop thermal control system), 구성 가능한 가스 패널, 에치 레이트 모니터 (etch rate monitor) 와 같은 다양한 옵션 액세서리가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램의 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 XRP 4.1 고급 플라즈마 소스를 사용하여 컴퓨터를 업그레이드하여 처리할 수 있습니다. 운영 측면에서, 사용자 인터페이스는 사용자 친화적이며, 에칭 (etching) 및 배치 (deposition) 프로세스를 쉽게 설정, 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 또한 보안 암호 보호 (Secure Password Protection) 기능을 통해 사용자가 권한 없이 툴에 액세스할 수 없도록 합니다. 자산은 etcher/asher를 지속적으로 모니터링하여 프로세스 성능을 보장하는 고급 "상태 모니터 (health monitor)" 로 뒷받침됩니다. 따라서 성능 문제를 신속하게 감지하고 해결할 수 있습니다. 모델의 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 (Safety) 기능도 탑재되어 있습니다. Alliance A6 9400은 고급 기판을위한 효과적인 에칭 및 증착 솔루션입니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 다양한 처리 기능 및 안정적인 성능을 제공합니다. 액세서리 및 업그레이드 (옵션) 를 통해 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다.
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