판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352

LAM RESEARCH Alliance A6 9400은 스퍼터 증착 장비의 일종 인 etcher/asher입니다. 이 시스템은 정전기 결합 무선 주파수 (RF) 전력을 사용하여 얇은 금속 층을 기판에 스퍼터링합니다. Alliance A6 9400은 균일 한 필름 코팅을 높은 속도로 생산할 수있는 높은 처리량입니다. 기계는 RF 전원 공급 장치, 비활성 플라즈마 및 진공 챔버가있는 2 챔버 구성입니다. 에처 챔버에는 RF 전원 공급 장치에 연결된 RF 전극이 있습니다. 챔버의 RF 전원 (Power) 은 전원 공급 장치에 의해 제어되며 원하는 에칭 프로세스에 따라 원하는 에칭 매개변수에 맞게 조정됩니다. 비활성 플라즈마 (inert plasma) 는 챔버에서 활성화되며, 반응성 가스의 금속 이온을 활성화시키는 데 사용된다. 물질은 이온 폭격으로 기판에 스퍼터링 (sputtered) 되며, RF 전력은 스퍼터 된 금속 필름의 균일 한 증착을 촉진하도록 조정된다. 진공실 은 저압 에서 증착 과정 을 위한 환경 을 제공 하며, 두 방 은 "에칭 '과" 진공실' 사이 의 압력 차등 을 유지 하기 위해 연결 되어 있다. LAM RESEARCH Alliance A6 9400에는 에칭 프로세스 동안 필름의 성장을 모니터링하는 고급 멀티 센서 이미징 툴이 있습니다. 찍은 이미지는 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 및 문제 해결 (Troubleshooting) 에 사용될 수 있으며, 코팅의 균일성을 시각적으로 표시할 수 있습니다. 에셋에는 에치 레이트 (etch rate) 와 코팅의 균일성 (unifority) 에 대한 피드백을 제공하기 위해 열린 루프 프로세스 제어가 장착되어 있습니다. Alliance A6 9400은 뛰어난 성능으로 영화를 제작할 수있는 적응력이 뛰어난 고출력 에칭/애셔입니다. 고급 투챔버 (two-chamber) 설계, 오픈 루프 (open-loop) 프로세스 제어 및 이미징 모델을 통해 사용자는 증착 프로세스를 정확하게 제어하고 원하는 결과를 산출할 수 있습니다.