판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362
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판매
ID: 121362
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Poly etcher, 8"
(3) 9400-DFM chambers
Transfer Module Type: A6
VCE Type: A6 API
Aligner: 011-2980-16 (0405-11887)
Robot Type: Magnatran-7
Arm Type: Twin ARM (black finger)
User Interface: CRT monitor, PC, keyboard, light pen, UPS, signal tower
Lid lifter: Air cylinder
Wafer detection system: exist
EMO hub: exist
Cable raceways: exist
PM slot valves: 853-442064-002
Signal Tower: 4 lamps (Red, orange, blue, blue)
PRS gauge-1 (VCE-1): HPS
PRS gauge-1 (VCE-2): HPS
PRS gauge-1 (VCE-3): HPS
PM-2, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-3, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-4, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
2004 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM은 다양한 기판을 에칭 및 세척하는 데 이상적인 장치입니다. 이 고성능 에처/애셔는 1800 W RF 전원 공급 장치를 사용하여 한 번에 최대 9 개의 1000 mm x 400 mm 웨이퍼를 에치하고 재현하는 기능을 제공합니다. 또한, 고급 프로세스 제어를 지원하는 현대적인 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 19 "터치 스크린 디스플레이를 자랑합니다. 시스템에는 조절 가능한 암 (arm) 이 장착 된 여분의 대형 로드/언로드 포드 (load/unload pod) 가 있습니다. 즉, 기판을 정밀하고 쉽게 장치에 넣을 수 있습니다. 또한 조정 가능한 매칭으로 강력한 RF 매칭 네트워크를 갖추고 있으며, 고주파에서도 우수한 에칭 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM에는 LAM의 고급 DFM (Dynamic Flow Mode) 에칭 기능이 장착되어 있어 측벽 각도와 하단 에칭 깊이를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이로 인해 테이퍼 (taper) 가 줄어들고 오버패치가 적은 보다 완전한 에치 프로파일이 생성됩니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 유연한 가스 시퀀싱을 갖는 완전한 가스 화학 공정을 제공하며, 공정 프로파일 링 옵션은 다른 기질 재료에서 유사한 성능을 가능하게한다. 또한, 하이 플로우 쇼 헤드 어레이는 일관된 에칭 균일성을 보장합니다. 이 장치의 냉장 재순환 공정 챔버 (recirculating process chamber) 는 완전한 과압 기능을 갖추고 있어 진공 에칭/애싱 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한 Alliance A6 9400 DFM (DFM) 은 원격 모니터링 및 프로세스 제어를 지원하므로 사용자가 원격으로 시스템을 관리하고 상세한 프로세스 보고서를 받을 수 있습니다. 마지막으로, 향상된 안전 기능을 통해 최신 안전 지침 및 CE 마크 규정을 준수합니다. ALLIANCE A6 9400DFM은 인상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 로 사용자가 고급 제어 및 정밀도로 안정적이고 일관된 에칭 및 애싱 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 강력한 기능, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface), 프로세스 (process) 기능을 조합하여 다양한 기판을 에치 (etch) 하거나 애쉬 (ash) 하려는 사람들에게 매우 적합합니다.
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