판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX #9309385

LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX는 반도체, MEMS/MOEMS 및 광학 기술의 여러 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 사용할 수있는 에처/애셔입니다. A6 9100 PTX는 더 높은 처리량과 향상된 생산성으로 더 깨끗한 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 여러 개의 필라멘트 (filament) 옵션이 있는 고속, 신뢰할 수있는 사전 처리 카세트가 장착되어 있는데, 이를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램에 따라 필라멘트 대상 재료와 크기를 변경할 수 있습니다. 또한 A6 9100 PTX에는 2 개의 독립적인 로드 포트가 장착되어 있어 대규모 생산을 위한 효율적인 로드 및 언로드가 가능합니다. A6 9100 PTX의 유연한 아키텍처를 사용하면 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 위해 구성할 수 있는 최대 2개의 챔버를 통해 여러 프로세스 기술을 교환할 수 있습니다. A6 9100 PTX 시스템은 에칭 및 애싱 용으로 최대 3 개의 기판을 적재 할 수 있으며, 기판 크기는 200mm에서 300mm 사이입니다. A6 9100 PTX의 자동 중심 기능 (auto-center capability) 은 기판 홀더와 기판을 정확하게 정렬하여 편차 오류를 중심에 둘 수있는 가능성을 줄입니다. 또한, A6 9100 PTX는 입자 생성을 최소화하도록 설계되었으며, 0.3 미크론에서 최소 15 개의 원자 질량 단위로 ULPA 등급을 받았습니다. 또한 A6 9100 PTX는 자동화 된 100 시간 질소 스크러버를 통합하여 장기 동안 일관된 에치 성능을 제공합니다. 또한 에칭 온도를 정확하게 제어하고 +/- 2 ° C 정확도로 측정 할 수 있습니다. 임베디드 진단 소프트웨어를 사용하면 프로세스 제어 및 검증을 매우 정확하게 수행할 수도 있습니다. A6 9100 PTX에는 시스템 제어 및 모니터링을 위한 기본 (내장) 사용자 인터페이스가 포함되어 있으며, 이 인터페이스는 시스템의 키패드에서 직접 액세스하거나 표준 웹 브라우저에서 원격으로 액세스할 수 있습니다. 통합 사용자 인터페이스를 사용하면 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 압력, 질량, 온도 및 기타 중요한 매개변수를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 A6 9100 PTX에는 최고 품질의 결과를 달성하기 위해 최적화된 매개변수를 사용하여 다른 재료와 기판을 에칭하기위한 완전한 레시피 라이브러리 (LLL) 가 포함되어 있습니다. 요약하면, Alliance A6 9100 PTX는 유연성, 효율성 및 품질 제어를 염두에 둔 고성능 etcher/asher입니다. 크기가 200mm - 300mm인 기판을 최대 3개까지 처리 할 수 있는 A6 9100 PTX의 통합 사전 처리 카세트, 자동 중심 기능, 종합적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 에칭과 재싱을 위한 안정적이고 정확한 도구입니다.