판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A6 4520 #293820037

LAM RESEARCH Alliance A6 4520 Etcher/Asher는 반도체 제조업체를 위해 설계된 산업 등급 에칭 및 애싱 장비입니다. 초고밀도, 저비용 머신으로, 다양한 형상을 가진 챔버 크기의 다양한 조합을 활용합니다. 이를 통해 다른 기질의 정확한 에칭 및 재싱이 가능합니다. 이 기계는 정확한 에치/애쉬 (etch/ash) 매개변수와 정확한 가스 흐름 제어를 결합하여 뛰어난 제어성과 반복 성을 제공합니다. 얼라이언스 A6 4520 (Alliance A6 4520) 에는 고급 디지털 제어 시스템과 직경이 최대 8 인치 인 최대 6 개의 기판 크기를 수용 할 수있는 동적 챔버 레이아웃이 있습니다. LAM RESEARCH Alliance A6 4520은 에치/애쉬 성능을 극대화하기 위해 정확하고 안정적인 플랫폼을 제공하는 통합 디지털 전자 장치 (Integrated Unit of Digital Electronics) 로 설계되었습니다. 이 기계는 헤비 듀티, 공기 및 수냉식 커패시터 및 온도커플을 제공하며, 에치/애쉬 공정을 제어하기위한 광범위한 옵션을 제공합니다. 프로세스 제어 강화 (Enhanced process control) 를 위해 PID 컨트롤러로 시스템을 구성하여 일정한 전류 및 온도를 설정할 수 있습니다. 0.5 ~ 50 밀리초의 조정 가능한 펄스 위드를 사용하면 다른 etch/ash 시스템에서 달성 할 수없는 정확한 etch/ash 제어가 가능합니다. 또한 Alliance A6 4520은 혁신적인 진공 스파이크 탐지 도구를 통해 가스 분해 및 분석을위한 통합 솔루션을 제공합니다. 이 자산은 프로세스 챔버에서 가스 스파이크를 감지하여 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 보다 빠르고 정확하게 제어함으로써 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 모니터링하는 독특한 방법을 제공합니다. 이 모델에는 프로세스 챔버 표면을 효율적으로 청소하는 효율적인 솔루션을 제공하는 통합 RF 생성기 (Integrated RF Generator) 와 흡착제 (Adsorber) 가 장착되어 있습니다. 이 올인원 (All-in-one) 장비는 높은 수준의 에치/애쉬 (etch/ash) 품질을 제공하면서 복잡성을 줄이고 비용을 처리할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Alliance A6 4520은 신뢰할 수 있고 포괄적인 시스템으로, 중요한 에치/애쉬 매개변수를 가장 정확하게 제어합니다. 반도체 제조업체 및 연구 시설에 이상적인 에치/애쉬 장치입니다.