판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 #9195948

LAM RESEARCH Alliance A4는 반도체 장치 제조의 어려운 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 장비입니다. 얼라이언스 A4 (Alliance A4) 는 양면 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위한 인클로즈드 (enclosed) 플랫폼을 통해 안정적이고 경제적인 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 기본 제공되는 공정 및 성능 센서가 장착 된 4 구역 에칭 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 를 통해 최적의 에칭 및 애싱 품질을 보장합니다. LAM RESEARCH Alliance A4는 또한 에치/애쉬 프로세스 동안 다양한 가스 레시피를 사용할 수있는 프로그래밍 가능한 가스 반응 요소를 특징으로합니다. 이 기능을 통해 사용자는 etch/ash 프로세스를 조정하여 특정 반도체 장치 설계 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. Alliance A4에는 안정적인 웨이퍼 처리를위한 로봇 팔이 포함되어 있습니다. 암 을 "와퍼 '를 방 으로 빠르고 정확 하게 옮겨" 에치/애쉬' 구역 사이 로 이동 시키도록 "프로그램 '할 수 있다. 이 장치에는 또한 재싱을 돕기 위해 통합 된 1 미크론 과립 진공 오븐이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Alliance A4는 습식 및 드라이 벤치 에칭 및 드라이 애싱 등 다양한 에치/애쉬 프로세스를 지원합니다. 이 기계는 표준 실험실 기기와 액세서리 (예: 선형 및 회전 모터 스테이지, 마스크 클리닝 시스템, 마스크 정렬 시스템) 와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 또한이 도구는 기판 난방 시스템, 플라즈마 소스, 입자 검출기와 같은 특수 하드웨어와의 통합을 제공합니다. 이 에셋은 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. 이 모델은 또한 전체 레시피와 레시피 스텝 편집 (rechipe step editing) 을 제공하여 레시피를 쉽게 사용자 정의하여 프로세스 요구 사항을 충족시킵니다. Alliance A4 는 원격 모니터링을 지원하므로 Wafer 처리 결과를 실시간으로 보고 추적할 수 있습니다. LAM RESEARCH Alliance A4는 반도체 장치 제조의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력한 에치/애쉬 장비입니다. 얼라이언스 A4 (Alliance A4) 는 프로그래밍 가능한 가스 반응 요소, 로봇 암, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 에칭 및 애싱을 위한 효율적이고 안정적인 도구를 제공합니다.