판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9195944
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LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE는 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 이 고급 에치 (etch) 와 애셔 (asher) 장비는 다양한 기능과 이점을 제공하여 생산 시설 및 연구 실험실에 이상적입니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 다양한 웨이퍼 및 기판의 처리 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 에칭 시스템입니다. 정확한 에칭 기능을 위해 전자 빔 건의 고출력 전하를 사용합니다. 에칭 정밀도 (etching precision) 는 웨이퍼 또는 기질에 걸친 에칭 공정의 균일 한 분포를 가능하게한다. 또한 에칭 레이어의 두께를 최대화하는 데 도움이 되는 독특한 벽 스크래핑 (wall scraping) 기능이 있습니다. Alliance A4 9600SE는 안정적이고 효율적이며, 빠른 에치 타임과 높은 처리량을 제공합니다. 전자빔 건 (electron beam gun) 을 제어하고 정밀하게 반복해서 발사하는 효율적인 프로세서가 있습니다. 이것은 임베디드 알고리즘과 구성 가능한 매개 변수를 사용하여 수행됩니다. 이 장치에는 또한 고전류 에칭을위한 고출력 발전기가 있습니다. 첨단 "가스 '배달기 는" 에칭 가스' 의 정확 한 전달 을 보장 해 주며, 그 결과 공정 이 높다. ALLIANCE A4 9600 SE는 설치가 쉽고 유연한 작동이 가능합니다. 데이터 모니터링 및 디스플레이 기능을 갖춘 사용자에게 친숙한 인터페이스가 포함되어 있습니다. [웨이퍼] 및 [기판] 처리에 필요한 모든 컨트롤이 패널에 포함됩니다. 이 툴은 또한 다양한 애플리케이션을 위한 여러 가지 레시피를 제공하며, 운영/유지 보수 작업을 더욱 간편하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 안전성을 극대화하고 잠재적 위험을 최소화하기 위해 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE는 포괄적인 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 현재 과부하, 화재, 기계적 결함 및 기타 위험을 방지하도록 설계되었습니다. 이 (가) 에셋을 사용하면서 운영자의 안전을 보장하는 데 적합한 안전 장치가 사용되며, 종합적인 장애 모니터링 (fault monitoring) 모델이 마련되어 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 다양한 생산 및 연구 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다목적 에칭 장비입니다. 고정밀 에칭 및 종합적인 안전 시스템은 반도체 처리에 적합한 선택입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 효율적인 운영 방식을 통해 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다 (영문).
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