판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE는 에처/애셔, 특히 고급 반도체 제조를 위해 설계된 습식 산화물 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 두 개의 독립적 인 전기 화학 공정 (에칭 (etching) 과 애싱 (ashing), 각각 자체 통합 공정 제어 및 안전 시스템) 의 조합입니다. 이 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 전반에 걸쳐 높은 정밀도와 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 고급 성능 제어를 사용하여 산화 결과가 정밀하게 제어되고 줄무늬가 없도록 합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 에칭 프로세스에 염소 기반 솔루션을 사용합니다. 염소 는 고순도 염소 "가스 '와" 수산화나트륨' 의 강력 한 완충 용액 을 함유 한 전기 동력 액체 전달 기계 를 통해 전달 된다. 이 염소 용액은 고급 진공 전달 시스템 (advanced vacuum transfer systems) 을 사용하여 진공에 배치 된 기질로 특별히 설계된 반응 챔버 (Reaction Chamber) 를 통해 펌핑됩니다. 에칭 과정에서, 염소 이온은 반도체와 반응하여 산화물을 형성한다. 산화물 축적은 in-situ 적외선과 area detector의 조합으로 모니터링됩니다. 애싱 공정은 특수 가스 혼합물과 함께 전기 아크 방전을 사용합니다. 이 조합은 핫 플라즈마 스트림 (hot plasma stream) 을 생성하여 산화물 층을 증기로 돌리고, 그 후 원자로 챔버에서 제거된다. 이 과정에서, 산화물은 기질에서 기화되며, 아크 (arc) 와 가스 (gas) 조성에 전력을 조정함으로써 조정 될 수있다. Alliance A4 9600SE etcher/asher 툴에는 온도, 압력, 현재 수준을 모니터링하고 제어하는 통합 안전 프로토콜을 포함한 많은 안전 기능이 있습니다. 자산에는 미립자 수준, 압력, 광학 에너지, 전류 등의 환경 조건을 제어하여 인력, 재료, 장비를 보호하는 수단도 포함됩니다. ALLIANCE A4 9600 SE는 최적의 운영 및 교정을 위해 설계되었으며, 고급 반도체 제작 프로세스에 업계 최고의 성능을 제공합니다. etcher/asher 모델은 뛰어난 제어, 균일성 및 정확성을 제공하여 장치 제조업체가 경쟁에 앞서도록 돕습니다.