판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098137
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판매
ID: 9098137
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Transport module, 8"
Wafer configuration: SEMI
VCE Doors: Automatic
VCE Seal: Bellows
VCE Platform: Cassette
Alliance remote AC box
TCU / Pumps remote AC box
Remote UI
Light tower: No
Cool station: No
Pumping configuration: Single
Gas panel: Integrated
Auxiliary equipment:
Chiller & monitor rack
Remote power module (RPM)
Integrated gas box
(4) Pumps
Monitor rack
Turbo control rack
(2) Chillers
AC Power box and other support components
EMO Cable length: Not included
No process modules included
1995 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE etcher/asher는 최신 정밀 에칭 및 애싱 기술을 갖춘 맞춤형 머신입니다. 이 에처/애셔는 까다로운 제조 공정에 적합한 고정밀 부품을 생산할 수 있습니다. A4 9600SE는 2 개의 큰 작업 면을 갖춘 독특한 3 축 설계로, 가장 복잡한 에칭 응용 프로그램에 적합합니다. 이 기계의 설계에는 부품 로드 및 언로드를 편리하게 제공하는 사용이 간편한 전면 로드 데크 (front-loading deck) 와 재료의 과잉 또는 저활성화 (under-activation) 를 정확하게 방지하는 이중 단계 온도 제어 시스템이 포함되어 있습니다. A4 9600SE 의 정밀도 (precision) 와 성능 (performance) 은 가장 중요합니다. 기계는 기판의 양쪽에서 에치 (etch) 할 수 있으며, 이전 모델보다 처리 시간이 짧게 더 나은 품질을 달성합니다. 또한, 이 기계는 안전과 효율성을 위해 설계되었으며, 사용자와 장비를 손상으로부터 보호하는 여러 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 자동 레시피 기반 프로그래밍과 내장 자동 레시피 에디터 (automated recipe editor) 를 갖추고 있어 에칭 성능을 최적화하기 위해 설정과 프로그램을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 기계의 다른 특징으로는 기계 청소 및 에칭 공정의 가스 흐름을 자동으로 조절하는 가스선 시스템 (gas line system) 과 위험한 용매를 제거하는 2 단계 고압 배기 시스템 (High-Pressure Exhaust System) 이 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE 에칭/애싱 머신은 직관적이고 안정적이며 성능이 뛰어납니다. 이전에 달성 할 수 없었던 정확성과 성능으로 얼라이언스 A4 9600SE (Alliance A4 9600SE) 는 수년간 정밀 에칭 적용을 지속적으로 이끌 것입니다.
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