판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE는 일반적으로 반도체 제조에 사용되는 완전 자동화 에처/애셔입니다. 이 장비는 사용자에게 집적 회로 (IC) 기판의 CMP (precision chemical-mechanical planarization) 평면 화를위한 광범위한 옵션을 제공하며 금속, 유전체 및 폴리머를 포함한 다양한 재료를 에칭 (또는 애싱) 할 수 있습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 패턴 화 또는 비대체 IC 웨이퍼에 균일 한 화학 반응을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 화학 전달 및 교정 장치, 웨이퍼 핸들러, 로봇/카세트 처리 기계, 가스 전달 도구, 여러 공정 챔버 등 여러 프로세스 모듈 및 구성 요소로 구성됩니다. 화학적 전달 및 간척 자산은 황산, 과산화수소, 염산을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 화학 물질을 전달하도록 구성 될 수있다. 가스 전달 모델은 공정 챔버의 압력과 유량을 제어하며 산소, 질소, 염소, 플루오린 및 기타 공정 가스를 도입 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 얼라이언스 A4 9600SE (Alliance A4 9600SE) 의 가장 중요한 부분이며, 공정 챔버와 로봇/카세트 처리 장비 사이에 웨이퍼를 옮길 책임이 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 "LaserLAB (LaserLAB)" 이라는 자체 개발 소프트웨어 패키지를 사용하여 제어되며, 이 패키지는 온도, 흐름 속도, 압력, 프로세스 가스에 노출되는 등 에칭 또는 재 프로세스에 필요한 매개변수를 모니터링하고 조정하는 옵션을 제공합니다. ALLIANCE A4 9600 SE에는 여러 가지 안전 통합 기능이 있습니다. 예를 들어, 비상 차단 스위치는 각 에칭 (etching) 또는 애싱 챔버 (ashing chamber) 위에 위치하며 과열, 고기압, 전원 장애 등과 같은 긴급 상황이있는 경우 활성화되도록 설계되었습니다. 그 에 더하여, 자동화 된 "시스템 '은 어떤 화학 증기 나" 가스' 를 환경 에서 제거 할 책임 이 있는 환기 장치 를 통합 하여 유해 한 화학 물질 이나 "가스 '에 노출 될 위험성 을 최소화 하도록 설계 되었다. 전반적으로 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE (LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE) 는 반도체 제조를 위한 광범위한 재료를 효율적이고 안정적으로 처리 할 수 있는 고성능, 자동 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 도구의 안전 통합 기능은 유해 화학 물질 및 가스에 노출 될 위험을 줄여 LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE (CMP 처리) 를 안전하고 신뢰할 수있는 플랫폼으로 만듭니다.