판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729
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ID: 293627729
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE는 높은 처리량, 신뢰성 및 프로세스 유연성을 위해 특별히 설계된 고급 etcher/asher입니다. 실리콘, III-V 반도체, 유리, 금속 및 도자기를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 수직 및 수평 웨이퍼를 동시에 에칭하고 재싱 할 수있는 멀티 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 독점 애싱 스테이션을 포함하여 4 개의 프로세스 챔버로 구성됩니다. 고유 한 "터보 (turbo)" 모드는 에칭과 재싱을 가속화하고, 온도 처리를 낮추고, 처리 중 압력 드리프트를 줄입니다. 또한 대용량 프로세스 프로그램을 사용하면 소용량 (small) 및 대용량 (large volume) 운영 모두에 대해 처리량이 높고 반복 가능한 처리를 수행할 수 있습니다. 얼라이언스 A4 9600SE (Alliance A4 9600SE) 는 직관적인 연산자 인터페이스와 멀티프로세스 툴과의 통합 기능을 통해 사용하기 편리하도록 설계되었습니다. 또한, 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 및 제어 (Control) 기능은 상세한 프로세스 성능 피드백을 제공하며 원하는 성능 결과에 따라 프로세스 매개변수를 수동 또는 자동 튜닝할 수 있습니다. ALLIANCE A4 9600 SE etcher/asher는 사용자 정의가 용이하며 post etch clean, ion source 및 source power pulsing, 기판 추적 및 프로세스 로그를 포함한 다양한 프로세스 구성 및 옵션을 제공합니다. LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE (LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE) 는 사용자와 프로세스 장비를 보호하기 위해 설계된 안전 기능과 함께 대용량 에칭 및 애싱 어플리케이션에 상당한 이점을 제공합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE는 반도체 제작 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 독특하고 유연한 처리 환경을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 멀티 챔버 설계, 빠른 처리 속도, 직관적인 운영자 인터페이스, 사용자 정의 (custom) 구성을 통해 높은 처리량과 신뢰성을 필요로 하는 고급 프로세스에 적합합니다.
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