판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9243628

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE는 고정밀, 대용량 제조 요구 사항을 충족하도록 설계된 업종별 etcher/asher입니다. MEMS, 고급 패키지 및 기타 고급 기술 산업에 적합합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE는 웨이퍼 표면의 여러 레이어를 정확하게 제어하는 3 차원 초박막 필름을 제공합니다. 독점적 인 고출력 Laser Ablation and Metallization Process (LAMP) 를 사용하여 뛰어난 정확도를 제공합니다. 또한, 이 플랫폼은 충분한 프로그램과 설정을 위해 충분한 비휘발성 (non-volatile) 메모리 용량을 제공하며, 고급 프로세스 모니터링은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. Alliance A4 9400SE는 다양한 에칭 및 애싱 기능을 갖추고 있습니다. 매우 정확한 에치 프로파일, 클리어 컷 (clear cut), 빠른 에치 속도, 광범위한 모양, 크기, 폭을 선택할 수 있습니다. 고급 애싱 공정 (Advanced ashing process) 은 또한 에치 재료 및 기타 유기 잔기의 효율적인 제거를 가능하게하는 고속 침식 공정을 제공합니다. 또한이 플랫폼은 저-k 유전체 재료 및 비-자기 도펀트에 대한 정확한 ashing을 제공합니다. ALLIANCE A4 9400 SE는 또한 정확하고 반복 가능한 재시동을 보장하는 APM (Advanced Precision Monitor) 기술을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 실시간 조정을 수행하여 매개변수 설정을 최적으로 유지하도록 합니다. 따라서 부품이 최고의 제품 품질 표준을 일관되게 충족할 수 있습니다. 안전 측면에서 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE에는 위험을 최소화하고 운영자를 보호하는 보호 장치 및 보안 프로토콜이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 개방 가스 방전을 최소화하기 위해 가이드 보호 시스템 (guide protection system) 과 퍼지 타이머 (purge timer) 가 장착되어 있습니다. 또한 입자 스트레이 셰이딩 메커니즘을 특징으로하며 진공 제어는 SEMI 표준을 준수합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE는 가장 어려운 응용 프로그램을 충족시키는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 대용량 생산에 대한 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. 이는 MEMS, 고급 패키지 (advanced packaging), 기타 첨단 기술 등 다양한 산업에 적합합니다.