판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9169592

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE는 동시 에칭/애싱 프로세스를 위해 광범위한 리소스를 제공하도록 설계된 다재다능한 에처/애셔입니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE는 하나의 플랫폼 내에서 에칭 및 애싱 요소를 모두 포함하는 단일 피스 통합 장치입니다. 이 고성능 장비는 빠른 에치 처리 시간 (최대 15cm2/분), 생산성 향상 및 고수율 결과를 제공합니다. Alliance A4 9400SE 는 자동화되고 사용자 친화적인 터치 인터페이스 (Touch Interface) 를 비롯한 독보적인 프로그램 기능을 제공하며, 필요한 모든 설정이 더욱 강화되어 최적의 사용자 편의성을 제공합니다. 이 시스템은 사용자에게 친숙한 작업을 위해 15 x 5 인치 풀 컬러 터치 스크린 (15 x 5 인치) 을 갖춘 대형 24 비트 컬러 디스플레이로 완성되었습니다. ALLIANCE A4 9400 SE는 열 에치 프로세스에 대해 4 개의 독립적 인 온도 영역을 사용하며, 선택적 에칭 및 증착 부재에 대해 최대 500 ° C의 온도 범위를 갖습니다. 통합 가스 흐름 조절기는 가스 특성 및 분포를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 핫 웨이퍼 리프터 (hot wafer lifter) 는 실험 매개변수 및 샘플 설정을 기반으로 자동 매개변수 조정을 제공합니다. 각 컴포넌트를 여러 방향으로 개별적으로 조정하여 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE etcher/asher는 Silicon, Gallium Nitride (GaN) 및 Indium phosphide (InP) 와 같은 다양한 재료를 에치하는 기능을 포함하여 습하고 건조한 에칭에 대한 프로세스 다용성을 제공합니다. 또한 다양한 기판 구성을 위해 고해상도 채널, 저각도 리프터 (low angle lifter) 를 통해 향상된 생산 효율성 및 수율을 제공합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE etcher/asher는 뛰어난 안전 등급, 장치 상태 및 소모품에 대한 실시간 모니터링을 갖춘 뛰어난 QoS (Quality of Service) 를 제공합니다. 통합 자동 경보기 (Automatic Alarm Machine) 는 운영자에게 모든 도구 오작동을 신속하게 경고합니다. Alliance A4 9400SE에는 SCADA 제어 시스템과의 원격 액세스 기능과 호환성도 포함되어 있습니다. 전반적으로 ALLIANCE A4 9400 SE는 다양한 재료를 위한 포괄적인 에칭/애싱 (etching/ashing) 솔루션을 제공하며, 높은 수율과 뛰어난 정밀도를 제공하며 운영 비용을 낮출 수 있습니다. 이 다용도, 사용하기 쉬운 etcher/asher는 첨단 프로세스에 이상적인 선택입니다.