판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #293626410

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE
ID: 293626410
Etcher (3) Chambers.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE는 광범위한 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 설계된 모든 기능을 갖춘 etcher/asher입니다. 수작업을 최소화하면서 안정적이고 균일한 처리 결과를 제공합니다. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE는 최신 기술을 활용하여 전체 프로세스 시간을 단축하면서 프로세스 제어를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 얼라이언스 A4 9400SE (Alliance A4 9400SE) 는 고급 프로세스 제어 장비와 결합된 최적화된 온도 프로파일 (temperature profile) 및 진공 수준 (vacuum level) 기능을 활용하여 다양한 재료에 걸쳐 균등하고 일관된 에치 결과를 제공합니다. 시스템은 최대 4 개의 사전 정의 레시피를 사용하여 최대 4 개의 유연성을 제공하므로 특정 에치 프로세스 (etch process) 및 기판에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 제어 및 데이터 저장 기능을위한 터치 스크린 전면 패널도 포함되어 있습니다. 에칭/애싱 공정은 가스 패널 (gas panel) 에 의해 촉진되며, 이를 통해 반응물 가스의 정확한 제어 및 정확한 전달이 가능합니다. 이 기계는 에치 균일성을 보장하기 위해 자동 튜닝 알고리즘 및 피드백 루프 방법을 사용합니다. 이 툴에는 etching/ashing 설정, 관리 및 자동화를 위한 포괄적인 환경을 제공하는 소프트웨어 패키지가 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어를 사용하면 프로세스 매개변수, 저장 레시피, 뷰 데이터 등을 조정할 수 있습니다. ALLIANCE A4 9400 SE는 UL Recognized, CE/ETL 등재 및 EPA 프로토콜 표준과 같이 가장 엄격한 안전 요건을 충족하도록 설계되었습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE는 정밀 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 도구입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 자산과 강력한 레시피 관리 소프트웨어는 최고의 기술 요구 사항을 충족하는 데 필요한 유연성과 정확성을 제공합니다. 강력한 설계로 안전한 작동이 보장되어 LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE는 안정적이고 균일 한 에칭 결과에 이상적인 선택입니다.
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