판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL은 대용량, 고해상도 에칭이 필요한 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 etcher/asher입니다. 모듈식 플랫폼 (modular platform) 으로 설계되어 다양한 에칭 프로세스를 처리할 수 있습니다. 이 기계에는 4 챔버 아키텍처가 있으며, 세 번째 챔버는 실리콘-망간 재료의 등방성 에칭에 사용됩니다. 공정 제어 (process control) 와 광범위한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제공하여 복잡한 구조를 다양한 재료로 가져올 수 있습니다. A4 4420XL은 고효율 고효율 가스 전달 장치 (HPS) 로, 고도로 제어되고 프로그래밍 가능한 고정밀 에칭 솔루션을 제공합니다. 에칭 프로세스는 시약, 압력, 온도의 조합에 따라 다르며, LAM RESEARCH (LAM RESEARCH) 는 가능한 최상의 결과를 얻기 위해 특정 시약 레시피와 맞춤형 가스 흐름을 개발했습니다. 이 기계는 또한 광학 가장자리 탐지 시스템 (Optical Edge Detection System) 을 갖추고 있어 정밀도가 높은 구조를 정확하게 식각 할 수 있으며, 다단 압력 게이지는 프로세스 챔버에 지속적인 피드백을 제공하여 오랜 기간 동안 균일성을 식각 할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 초당 최대 0.01 미크론의 속도로 에칭 할 수 있으며, 다양한 기판에 대한 광범위한 에칭 두께를 허용합니다. 또한 가스 흐름, 압력, 온도를 조정하여 레이어 전송, 스틱 필름 메탈 에치 (thick film metal etch), 다이빙 (dicing) 과 같은 다단계 프로세스를 충족시키는 유연한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, A4 4420XL은 유리, 석영, 실리콘 및 로우-k 장치에 이르기까지 다양한 웨이퍼 지원 표면과 호환되도록 설계되었습니다. 요약하면, LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XL은 사용자에게 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를위한 다재다능한 솔루션을 제공하는 고정밀 에처/애셔입니다. 이 제품은 정확한 프로세스 제어 시스템, 고밀도 에칭 (eching), 다양한 기판을 갖춘 고효율 패키지를 제공합니다. 광학 모서리 탐지 시스템 (Optical Edge Detection System) 및 다중 단계 압력 게이지 (Multi-Stage Pressure Gauge) 와 같은 여러 기능을 통해 사용량이 많은 애플리케이션과 볼륨이 낮은 애플리케이션 모두에 대해 일관되게 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.