판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9389921

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 반도체 장치의 대용량 및 유연한 생산을 위해 설계된 고 처리량 에처/애셔입니다. 9600 PTX는 시간당 최대 227 개의 웨이퍼 (wafer) 의 인상적인 처리량을 통해 눈에 띄게 낮은 입자 수와 뛰어난 재료 제거 균일 성을 제공합니다. 이 장비는 빠르고, 안정적이며, 비용 효율적인 플라즈마 에칭 및 청소 작업을 보장하는 첨단 기술을 제공합니다. 이 기계는 정확하고 유연한 에칭을위한 고급, 다중 영역 플라즈마 소스로 구성됩니다. 고급 챔버 (Advanced Chamber) 설계는 웨이퍼의 여러 영역에서 제어 된 균일성을 보장하며, 이는 매우 정확한 장치를 생산하는 데 도움이됩니다. 이 장비에는 최대 80 Torr를 처리 할 수있는 진공 펌핑 시스템 (Vacuum Pumping System) 과 웨이퍼, 전극 및 열 전이의 최적의 냉각을 제공하는 Enhanced Coolant Unit이 포함됩니다. 또한 Alliance 9600 PTX에는 고급 RF 전원 공급 및 제어 시스템도 포함됩니다. 독점 APC (Advanced Process Control) 알고리즘은 원하는 에칭 또는 클리닝 프로세스가 빠르고 정확하게 수행되도록 보장합니다. 가변 프로세스 압력 제어 (Variable Process Pressure Control) 를 사용하면 에칭 및/또는 클리닝 작업 중에 정확한 챔버 압력을 설정하고 유지할 수 있습니다. 전반적으로, 높은 수준의 정밀도와 처리량을 갖춘 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 빠르고 안정적인 에칭 및 클리닝이 필요한 모든 생산 라인에 완벽하게 추가됩니다. 단순화된 설계 및 운영 체제 덕분에 프로세스 엔지니어는 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스를 정확하고 신속하게 프로그래밍, 설정, 모니터링할 수 있습니다. 또한 시스템 구성이 매우 용이하여, 사용자가 언제든지 기능 및 운영 절차를 조정하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).