판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9299377

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 처리 처리량 향상, 설치 공간 감소, 병렬 프로세스 기능 향상을 위해 특별히 설계된 고효율 etcher/asher입니다. 이 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Processing Equipment) 는 다양한 프로세스 윈도우를 갖춘 일괄 처리 방식의 시스템으로, 효율성과 다용도를 향상시킵니다. 액체 및 가스 기반 화학 물질을 포함한 다양한 공정 화학 옵션을 제공합니다. 이 장치에는 이중 로드 잠금 스테이션, 8 "웨이퍼 전송 및 병렬 처리 기능이 있습니다. 이 기계의 주요 이점은 로드 잠금 프로세스 단순화, 클리닝 효율성 및 반복성 향상, 에칭 프로세스 화학 (etching process chemistry with precision) 제어 기능 등입니다. 강력한 프로세스 제어 (process control) 및 자동화 (automation) 기능을 통해 공구가 동시 에치 및 재 처리에 이상적이어서 수율 향상과 반복 능력이 향상됩니다. 이 자산은 또한 프로세스 통과 모니터링을 강화하기 위해 멀티 존 (Multi-Zone) 배치 제어를 갖추고 있으며, 즉석 화학 물질과 작업을 실시간으로 변경할 수 있습니다. Alliance 9600 PTX는 신뢰할 수 있는 Etcher/Asher로, 처리 중 극한의 상태를 견딜 수 있도록 설계되었으며 고속 CPU, 전용 비디오 모델, 프로세스 제어 소프트웨어, 풀 컬러 터치 패널, 진공 및 압력 모니터가 장착되어 있습니다. 모듈식 설계로 인해 필요에 따라 실라이제 (silicide), 에치 (etch), 재 (ash) 및 기타 표준을 포함한 다양한 프로세스 모듈을 구성 할 수 있습니다. 또한이 장비에는 실시간 제어를 위해 스마트 CVDTM 필름 증착 기술 (Smart CVDTM film deposition technology) 이 있으며 웨이퍼에 증착 필름의 균일성이 향상되었습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE 9600 PTX에는 IPM (Intelligent Process Monitoring) 기술이 적용되어 프로세스 통과 매개변수를 지속적으로 모니터링 및 제어하고 공구 설정을 자동으로 조정하는 한편, 사전 청소, 에칭, 방출 후 청소 등의 프로세스 단계도 정확하게 실행됩니다. 시간당 최대 300개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으므로 이 시스템은 오늘날의 웨이퍼 처리 요구에 적합합니다.