판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 가장 정확하고 정확한 에칭 및 애싱 결과를 위해 최첨단 처리 기술을 통합하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 사용자의 성능 향상, 처리량 향상, 가동 시간 증가, 운영 비용 절감 등의 이점을 제공합니다. Alliance 9600 PTX는 75mm에서 152mm까지의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 반도체 업계의 에칭/애싱 (eching/ashing) 요구에 매우 빠른 주기 시간을 제공하도록 설계되었습니다. Alliance 9600에는 우수한 재료 처리를 위한 고급 기능이 장착되어 있습니다. PEDC 기술로, 매우 정확하고 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 달성하기 위해 초단파 펄스가 사용되어 밀도가 작고 높은 장치의 생산을 용이하게합니다. 이 기계는 또한 습식 화학 및 건식 에치/애쉬 공정을 모두 수용하도록 설계되었습니다. 교차 흐름 (Cross-Flow) 필터는 포스트 프로세스 부산물의 빠른 복구를 위해 통합 필라멘트를 제공합니다. 가열 된 드럼 디자인은 뛰어난 균일성을 제공하여, 개선 된 다중 영역 온도 제어 (multi-zone temperature control) 로 표면 지형의 변화를 최소화합니다. 통합 수집기는 폐기물 수집을위한 포스트 프로세스 웨이퍼를 저장합니다. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 고급 제어 기능도 제공합니다. 업그레이드된 Infano Flex ™ Control은 실시간 프로세스, 레시피 추적, 예측 유지 관리, 레시피 최적화, 원격 진단 등 다양한 강력한 기능을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 패키지입니다. 이 도구는 또한 단일 버튼 작업 및 자동 보정을 제공하여 간단하고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 프로세스 정확성은 또한 현장 (in-situ) 도량형 자산에 최적화되어 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 결과가 생성되도록 합니다. 얼라이언스 9600 PTX (Alliance 9600 PTX) 는 안정적이고 강력한 etcher/asher 시스템으로 반도체 업계의 광범위한 에칭/애싱 프로세스에 대한 고급 기능을 제공합니다. 포괄적인 제어 능력과 향상된 처리량을 갖춘 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX 모델은 도구 복잡성과 비용을 절감하는 동시에 다운타임을 줄이고 프로세스 효율성을 극대화합니다.