판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 반도체 산업의 에처/애셔입니다. 이 도구 는 "알루미늄 '에서" 실리콘' 및 사진사 에 이르기 까지 여러 가지 재료 의 무늬, 제거 및 도핑 에 사용 된다. 확장성, 유연성, 처리량, TCO (총소유비용) 절감 등으로 다양한 운영 시나리오에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. Alliance 9600 PTX의 핵심은 에칭 및 애싱 기능입니다. 이 장치에는 이온 빔의 정확한 제어를 위해 듀얼 스테이지 RFpowered dry etching/ashing 시스템이 장착되어 있습니다. 이 솔루션은 일반적인 프로세스 창 0.03-10nm와 함께 5 나노미터 (nm) 까지 레이어를 제거할 수 있습니다. 이 시스템은 금속, 산화물, 질화물, 폴리 실리콘 및 반도체 장치 생산에 사용되는 다른 재료를 에칭 할 수 있습니다. 이 기계에는 에칭 및 애싱 (ashing) 과정에서 가스 또는 입자의 탈출을 방지하기 위해 고 진공 호환 안전 셔터가 포함되어 있습니다. 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 와 같은 다른 진공 성분은 향상된 에칭 성능 및 제어를 위해 포함됩니다. 이를 통해 광범위한 애플리케이션의 에칭 및 애싱 프로세스를 재현할 수 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX는 강력하지만 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 프로세스 설정 및 모니터링을 단순화합니다. DCI (Dual Computer Interface) 통합을 통해 컨트롤러는 etch/ash 도구에서 최대 50 미터 떨어진 곳에 위치하여 편리한 외부 위치에서 시스템 측정 및 조정 포트에 액세스 할 수 있습니다. 마지막으로, 로드 잠금 (load lock) 옵션을 사용할 수 있으므로 에칭 및 애싱 챔버에 가공소재를 자동으로 로드할 수 있습니다. 이 기계는 운영 자동화 시스템 (Production Automation Systems) 과의 통합을 지원하므로 최소한의 노력으로 프로세스를 손쉽게 자동화 및 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로 얼라이언스 (Alliance) 9600 PTX는 반도체 소자 생산에 사용할 수 있는 다양한 소재를 에칭 (eching) 하고 애시하기 위한 강력하고 경제적인 솔루션이다. 설치 공간, 에치/애쉬 (etch/ash) 기능, 통합 안전 셔터, 강력한 GUI 및 유연성을 통해 모든 운영 환경에 이상적인 툴이 될 수 있습니다.