판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9400 #9035897

LAM RESEARCH Alliance 9400은 반도체 장치 및 재료의 정확한 에칭 및 재시를 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 처리 능력과 정밀도는 종종 엄격한 제조 공차가 필요한 제품, 기술에 매우 중요합니다. Alliance 9400 은 처리량 향상, 제어 능력 향상, 비용 절감을 통해 어려운 프로세스를 처리할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Alliance 9400은 고급 다중 구역 난방 돔 (multi-zone heated dome) 과 챔버 설계 (chamber design) 를 통해 고급 장치 구조의 프로세스 균일성과 특징 프로파일을 극대화합니다. 다중 영역 (multi-zone), 캐스케이딩 가능 돔 (cascadable dome) 은 중심에서 가장자리로 온도 차별화를 최소화하며 포스트 프로세스 어닐링이 필요하지 않습니다. 다중 영역 챔버 디자인은 독립 환기 구역을 통한 축 흐름으로 수평 열 및 플라즈마 균일성을 보장합니다. Alliance 9400 은 고급 디바이스 구조 및 프로세스를 위한 경제적인 솔루션입니다. APS (Advanced Plasma Source Technology) 는 광범위한 Configurable Parameter를 제공하여 각 애플리케이션의 프로세스 유연성과 성능을 향상시킵니다. LAM RESEARCH ALLIANCE 9400은 또한 독보적인 자동 프로세스 컨트롤러를 통해 효율성을 극대화하고 폐기물을 최소화하는 유연한 레시피를 제공합니다. 닫힌 루프 프로세스 제어 시스템 (closed-loop process control system) 은 프로세스 성능을 모니터링하고 피드백 제어 알고리즘을 구현하여 정확성과 반복성을 보장합니다. Alliance 9400은 모든 에칭 또는 애싱 프로세스에 안전한 환경을 제공합니다. 자동 공정 제어 칼로리미터, 가변 온도 작동, 전용 화재/연기 경보 시스템, 자동 안전 밸브 차단 시스템 등 다양한 안전 기능이 있습니다. LAM RESEARCH ALLIANCE 9400은 또한 통합 배기 송풍기를 사용하여 설계되었으며, 이는 공기 입자 및 기타 유해 입자의 위험을 최소화합니다. 요약하자면, Alliance 9400 은 정확한 프로세스 애플리케이션을 위한 고급 etcher/asher 로서 최적의 효율성, 비용 절감, 안전성을 위해 설계되었습니다. 프로세스 균일성과 기능 프로파일 정확성을 유지하는 멀티 존 (multi-zone) 난방 돔 및 챔버 디자인, 안전한 환경에서 열 및 플라즈마 균일성을 보장하는 멀티 존 챔버 (multi-zone chamber), 최고의 성능과 최소한의 폐기물을 위한 유연한 레시피를 갖춘 자동 프로세스 컨트롤러 (automated process controller) 가 특징입니다.