판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418

LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 차세대 반도체 처리를 위해 설계된 에칭/애싱 도구입니다. 강력한 성능과 정밀도를 자랑하는 9100 PTX 는 다양한 프로세스 (process) 를 갖춘 복잡한 디바이스 제작에 적합합니다. 탁월한 에치/애쉬 성능 (etch/ash performance) 은 고급, 효율적, 신뢰성 있는 처리 기능과 연계되어 가장 까다로운 장치 및 재료 처리 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 얼라이언스 9100 PTX는 유전체의 빠른 에칭/애싱 (eching/ashing) 에서 금속의 선택적 에칭/애싱 (eching/ashing) 을 갖는 초정밀 프로세스에 이르기까지 건조 및 습식 에치/애쉬 작업을 모두 수행 할 수 있습니다. 에지 투 에지 (edge-to-edge) 균일성과 최소한의 손상으로 빠른 에치/애쉬 (etch/ash) 처리량을 보장하는 고속 추출/압축 프로세스가 특징입니다. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 또한 에칭/애싱 주기 (etching/ashing cycle) 시간을 줄여 생산 효율성을 높이는 고급 산 억제 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 Alliance 9100 PTX는 효율적이고 비용 효율적인 다운스트림 처리 옵션을 폭넓게 선택할 수 있습니다. 여기에는 카세트 로딩, SCARA 로봇 카세트 전송 시스템, 수직 및/또는 수평 단일 카세트 로드 및 언로드 방법이 포함됩니다. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 완전하게 자동화된 웨이퍼 릴리즈 및 언로드를 지원하므로 운영자의 노력이 필요 없습니다. 따라서 처리량이 향상되고 디바이스 생산량이 늘어납니다. Alliance 9100 PTX에는 최적의 에치/애쉬 (etch/ash) 작동에 필요한 모든 컨트롤을 제공하는 직관적인 연산자 인터페이스가 있습니다. 또한 고급 레시피를 만드는 레시피 편집 기능이 내장되어 있으며, 에칭/어싱 (etching/ashing) 결과의 정확한 데이터 분석을 위한 강력한 데이터 로깅 기능도 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 이더넷 (Ethernet) 과 같은 최신 통신 프로토콜을 지원하므로 사용자가 편리한 위치에서 etch/ash 데이터를 쉽게 연결하고 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 Alliance 9100 PTX는 가장 까다로운 장치 및 재료 처리 어플리케이션을 위해 설계된 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 툴입니다. 높은 전력, 정밀도, 고급 기능을 갖춘 9100 PTX는 주기 시간 단축, 장치 생산량 향상을 통해 안정적인 에칭/애싱 성능을 제공합니다.